[发明专利]场发射阴极及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202011075453.2 申请日: 2020-10-09
公开(公告)号: CN112053925A 公开(公告)日: 2020-12-08
发明(设计)人: 洪序达;梁栋;郑海荣 申请(专利权)人: 深圳先进技术研究院
主分类号: H01J1/304 分类号: H01J1/304;H01J9/02
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人: 孙伟峰;黄进
地址: 518055 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 发射 阴极 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种场发射阴极,其特征在于,所述场发射阴极包括导电基板以及形成在所述导电基板上的Ti3C2纳米片薄膜层。

2.根据权利要求1所述的场发射阴极,其特征在于,所述Ti3C2纳米片薄膜层的厚度为1μm~10μm。

3.根据权利要求1或2所述的场发射阴极,其特征在于,所述导电基板选自基材为铁、钛、铜、铬、钴、镍、钨、钼、钽和铂中的至少一种形成的金属基板;或者是,所述导电基板为氧化铟锡导电玻璃或硅片。

4.一种如权利要求1-3任一所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,包括:

提供导电基板;

配制Ti3C2纳米片分散液;

将所述Ti3C2纳米片分散液涂覆于所述导电基板上,在所述导电基板上形成Ti3C2纳米片薄膜层。

5.根据权利要求4所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,所述配制Ti3C2纳米片分散液包括:提供Ti3C2纳米片原料,将所述Ti3C2纳米片原料加入溶剂中,超声搅拌后离心处理获得所述Ti3C2纳米片分散液。

6.根据权利要求5所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,所述Ti3C2纳米片分散液中,Ti3C2纳米片的浓度为1mg/mL~5mg/mL。

7.根据权利要求5所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,所述超声搅拌的超声功率为100W~500W,时间为10min~20min。

8.根据权利要求5所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,所述Ti3C2纳米片原料采用以下工艺制备获得:

S10、在持续搅拌的条件下,将Ti3AlC2层状材料加入到HF溶液或者HCl和LiF的混合溶液中,刻蚀去除Al中间层,获得第一中间产物;

S20、将所述第一中间产物加入到去离子水中,在惰性气体保护下进行超声剥离,剥离完成后通过离心分离出上层清液,获得Ti3C2纳米片溶液;

S30、将所述Ti3C2纳米片溶液进行干燥处理,获得Ti3C2纳米片粉体原料。

9.根据权利要求5-8任一所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,应用电泳沉积工艺将所述Ti3C2纳米片分散液涂覆于所述导电基板上,包括:

向所述Ti3C2纳米片分散液中加入金属无机盐作为反应溶液;

以所述导电基板为阴极并提供另一电极为阳极置于所述反应溶液,在直流电压的作用下使反应溶液中的Ti3C2纳米片沉积于所述导电基板上,在所述导电基板上形成Ti3C2纳米片薄膜层。

10.根据权利要求5-8任一所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,应用旋涂工艺或滴涂工艺将所述Ti3C2纳米片分散液涂覆于所述导电基板上,干燥使溶剂挥发后在所述导电基板上形成Ti3C2纳米片薄膜层。

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