[发明专利]场发射阴极及其制备方法在审
申请号: | 202011075453.2 | 申请日: | 2020-10-09 |
公开(公告)号: | CN112053925A | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 洪序达;梁栋;郑海荣 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院 |
主分类号: | H01J1/304 | 分类号: | H01J1/304;H01J9/02 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;黄进 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 发射 阴极 及其 制备 方法 | ||
1.一种场发射阴极,其特征在于,所述场发射阴极包括导电基板以及形成在所述导电基板上的Ti3C2纳米片薄膜层。
2.根据权利要求1所述的场发射阴极,其特征在于,所述Ti3C2纳米片薄膜层的厚度为1μm~10μm。
3.根据权利要求1或2所述的场发射阴极,其特征在于,所述导电基板选自基材为铁、钛、铜、铬、钴、镍、钨、钼、钽和铂中的至少一种形成的金属基板;或者是,所述导电基板为氧化铟锡导电玻璃或硅片。
4.一种如权利要求1-3任一所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,包括:
提供导电基板;
配制Ti3C2纳米片分散液;
将所述Ti3C2纳米片分散液涂覆于所述导电基板上,在所述导电基板上形成Ti3C2纳米片薄膜层。
5.根据权利要求4所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,所述配制Ti3C2纳米片分散液包括:提供Ti3C2纳米片原料,将所述Ti3C2纳米片原料加入溶剂中,超声搅拌后离心处理获得所述Ti3C2纳米片分散液。
6.根据权利要求5所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,所述Ti3C2纳米片分散液中,Ti3C2纳米片的浓度为1mg/mL~5mg/mL。
7.根据权利要求5所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,所述超声搅拌的超声功率为100W~500W,时间为10min~20min。
8.根据权利要求5所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,所述Ti3C2纳米片原料采用以下工艺制备获得:
S10、在持续搅拌的条件下,将Ti3AlC2层状材料加入到HF溶液或者HCl和LiF的混合溶液中,刻蚀去除Al中间层,获得第一中间产物;
S20、将所述第一中间产物加入到去离子水中,在惰性气体保护下进行超声剥离,剥离完成后通过离心分离出上层清液,获得Ti3C2纳米片溶液;
S30、将所述Ti3C2纳米片溶液进行干燥处理,获得Ti3C2纳米片粉体原料。
9.根据权利要求5-8任一所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,应用电泳沉积工艺将所述Ti3C2纳米片分散液涂覆于所述导电基板上,包括:
向所述Ti3C2纳米片分散液中加入金属无机盐作为反应溶液;
以所述导电基板为阴极并提供另一电极为阳极置于所述反应溶液,在直流电压的作用下使反应溶液中的Ti3C2纳米片沉积于所述导电基板上,在所述导电基板上形成Ti3C2纳米片薄膜层。
10.根据权利要求5-8任一所述的场发射阴极的制备方法,其特征在于,应用旋涂工艺或滴涂工艺将所述Ti3C2纳米片分散液涂覆于所述导电基板上,干燥使溶剂挥发后在所述导电基板上形成Ti3C2纳米片薄膜层。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳先进技术研究院,未经深圳先进技术研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011075453.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。