[发明专利]一种基于MEMS微器件制造的电化学沉积镀槽在审
| 申请号： | 202011076105.7 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN112195495A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 王慧颖;谢立东;陈文国;王瑞;孔德剑 | 申请（专利权）人： | 曲靖师范学院 |
| 主分类号： | C25D17/02 | 分类号： | C25D17/02;C25D17/00;C25D21/18;C25D21/10;C25D21/12;C25D21/04;C25D5/00;C25D7/12 |
| 代理公司： | 云南省曲靖市专利事务所 53104 | 代理人： | 周厚明 |
| 地址： | 655011 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 器件 制造 电化学 沉积 | ||
1.一种基于MEMS微器件制造的电化学沉积镀槽，包括外镀槽体（1）和内镀槽体（2），其特征在于：外镀槽体（1）为顶部开口的圆柱形腔体，外镀槽体（1）底部连接有回流管（5），回流管（5）上连接有泵（3），泵（3）上连接有进/出液管（4），进/出液管（4）上设有阀门；内镀槽体（2）为顶部开口底部为弧形的圆柱形腔体，内镀槽体（2）直径小于外镀槽体（1）直径，内镀槽体（2）置于外镀槽体（1）内中心，内镀槽体（2）顶部与外镀槽体（1）顶部密封固定，外镀槽体（1）内壁与内镀槽体（2）外壁形成一密封腔体，外镀槽体（1）和内镀槽体（2）顶部设有可开启/关闭的密封盖（12），所述密封盖（12）位于内镀槽体（2）开口顶部设有真空计（10）和抽真孔（11）；所述内镀槽体（2）底部中心通过管道与泵（3）连接，内镀槽体（2）内设置有搅拌器桨叶（6）、遮蔽板（7）、阴极板（8）、阳极板（14）和振荡器（15），所述遮蔽板（7）上均布有圆孔；所述内镀槽体（2）上设有阴极排液口（9）和阳极排液口（13）。
2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS微器件制造的电化学沉积镀槽，其特征在于：所述搅拌器为磁力搅拌器，搅拌器桨叶（6）通过十字形支架（16）可水平旋转固定在内镀槽体（2）内。
3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS微器件电镀的电化学沉积镀槽，其特征在于：所述遮蔽板（7）通过一字形支架（17）竖直固定在内镀槽体（2）中心，遮蔽板（7）位于搅拌器桨叶（6）上方。
4.根据权利要求1所述的一种基于MEMS微器件制造的电化学沉积镀槽，其特征在于：所述振荡器（15）对称设置在搅拌器桨叶（6）两侧内镀槽体（2）内壁上。
5.根据权利要求1所述的一种基于MEMS微器件制造的电化学沉积镀槽，其特征在于：所述阴极板（8）和阳极板（14）对称设置在内镀槽体（2）内壁上，阴极板（8）和阳极板（14）与遮蔽板（7）板面中心垂直。
6.根据权利要求1所述的一种基于MEMS微器件制造的电化学沉积镀槽，其特征在于：所述阴极排液口（9）和阳极排液口（13）分别位于阴极板（8）和阳极板（14）上方。
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