[发明专利]废气处理装置

说明书

本发明公开了一种废气处理装置，包括：一加热腔，所述加热腔包括一腔体上端、一腔体下端及一腔体，其中，所述腔体上端垂直于所述腔体向外延伸，所述腔体上端内部设置有第一气体通道，所述第一气体通道呈环形环绕所述腔体；所述腔体下端设置一第三气体通道，所述第三气体通道呈环形环绕所述腔体，所述第一气体通道与所述第三气体通道与所述腔体连通；一废气管；一反应腔；一捕捉器，所述捕捉器与所述反应腔连通，用于接收所述反应腔分解后的废气，并对废气进行除尘和降温；一换热器；一排气口。通过高温预加热、燃烧及双重吸附、加热腔设计分段气体通道结构，实现废气处理减排之目的，解决传统燃烧式废气处理器高能耗高排放的问题。

技术领域

本发明涉及废气净化领域，尤其涉及到半导体和化学等领域工业生产废气的处理装置。

背景技术

在半导体行业中，如太阳能面板、晶圆、液晶平板等厂家生产过程中会产生有毒有害的废气，主要以单硅烷(SiH4)、氯气(Cl2)、PFC(全氟化合物(perfluoro compounds))等为主，在处理含有上述气体的废气时，通常使用吸附法、加热分解法、水洗法和燃烧法等四种方式。

传统的燃烧式废气处理装置，需要通入可燃气体例如天然气等作为燃烧工质，在燃烧室内进行燃烧。传统的燃烧式废气处理装置存在如下弊端，一是需要另外充入可燃气体，燃烧能源消耗大、成本高，产生一氧化碳(CO)等有害气体，节能减排效果不佳；二是需要配套可燃气体供应设备和管路，增加系统复杂性和对安全管理的要求更高。

针对传统的利用可燃气体作为燃烧工质存在的上述技术问题，本领域技术人员做了进一步的改进，利用加热分解法搭配湿式法达到净化废气的效果，但现有的废气处理装置废气处理时间短暂，导致以加热分解法净化有害废气时，由于有害废气处理时间过短，影响到有害废气的净化效率，如申请号为2013103541067，为了提高废气净化效率，采用在加热腔室内设置一隔板，延长废气的加热时间。

另外，针对现有技术中废气处理装置中作为燃烧工质的可燃气体通过管道直接输入到燃烧室的结构而言，存在可燃气体不能在燃烧室内均匀分布，另外在设备故障停机或者停机维护时可能会出现倒灌问题。

上述改进后废气处理装置存在如下问题：该废气处理装置仅靠有害废气在加热腔中催化分解，难以实现完全净化；另外为了更好的实现废气的处理，还需要结合水洗室对废气进行溶解和冷却，该装置中溶解废气后的水成为含有有害物质的废水也会引起二次污染，同时也会使废气处理装置更复杂、成本更高。

有鉴于此，如何设计一种废气处理装置以消除现有技术中的上述缺陷和不足，是业内相关技术人员亟待解决的一项课题。

发明内容

为了克服现有技术中存在的废气分解不完全、废气处理时间短的技术问题，本发明通过设计一种废气处理装置，通过高温燃烧及吸附，实现废气处理减排之目的，解决传统燃烧式废气处理器高能耗高排放的问题。废气气流经过高温燃烧反应后，通入本发明设计的双重颗粒捕捉装置，对排放气体进行降温除尘，进一步提高减排效果。另外对加热腔设计分段气体通道结构，均匀通入空气或助燃气体(例如氧气)帮助废气充分燃烧，使有害废气净化更充分，实现废气高效率的分解与净化，同时有效避免废气倒灌的问题；本发明设置两个捕捉器更进一步地提高废气中粉尘的吸附效果，同时降低气体的动能以及温度，使处理后的废气符合排放标准。