[发明专利]一种声波传感器在审
| 申请号： | 202011084735.9 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN112179477A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 金华伏安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 322200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 声波 传感器 | ||
1.一种声波传感器，其特征在于，包括激光器、探测器、光纤、贵金属层和柔性衬底；所述激光器和所述探测器设置在所述光纤两侧，所述贵金属层和所述柔性衬底设置在所述光纤内；所述贵金属层为微纳手性结构阵列，附着在所述柔性衬底靠近所述激光器的一侧。
2.根据权利要求1所述的声波传感器，其特征在于，所述光纤内设置有倾斜的第一腔体，所述贵金属层和所述柔性衬底设置在所述第一腔体内。
3.根据权利要求1或2所述的声波传感器，其特征在于，所述柔性衬底包括第一衬底和第二衬底，所述第一衬底和所述第二衬底连接；所述第一衬底和所述第二衬底的弹性系数不同。
4.根据权利要求1所述的声波传感器，其特征在于，所述微纳手性结构阵列为L型微纳手性结构阵列或F型微纳手性结构阵列。
5.根据权利要求1所述的声波传感器，其特征在于，所述微纳手性结构阵列的材质为金或银。
6.一种声波传感器，其特征在于，包括激光器、探测器、光纤、第一贵金属层、第二贵金属层和柔性衬底；所述激光器和所述探测器设置在所述光纤两侧，所述柔性衬底、所述第一贵金属层和所述第二贵金属层设置在所述光纤内，所述柔性衬底设置在所述第一贵金属层和所述第二贵金属层之间；所述第一贵金属层和所述第二贵金属层为微纳手性结构阵列。
7.根据权利要求6所述的声波传感器，其特征在于，所述光纤内设置有倾斜的第二腔体，所述柔性衬底、所述第一贵金属层和所述第二贵金属层设置在所述第二腔体内。
8.根据权利要求6或7所述的声波传感器，其特征在于，所述柔性衬底包括第三衬底和第四衬底，所述第三衬底和所述第四衬底连接；所述第三衬底和所述第四衬底的弹性系数不同。
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