[发明专利]一种CWDM滤光片在审
| 申请号： | 202011085152.8 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN112114402A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 陈喜文;尹智辉;赵刚科 | 申请（专利权）人： | 东莞市微科光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐丽 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cwdm 滤光 | ||
1.一种CWDM滤光片，其特征在于，包括基片和设在所述基片一侧表面的膜系层；
所述膜系层由低折射率膜层和高折射率膜层交替叠加而成；其中，
所述高折射率膜层为SiH膜层。
2.根据权利要求1所述的CWDM滤光片，其特征在于，所述低折射率膜层为SiO2膜层。
3.根据权利要求2所述的CWDM滤光片，其特征在于，所述膜系层具有60～100层膜层；其中，
奇数层为SiO2膜层，偶数层为SiH膜层。
4.根据权利要求3所述的CWDM滤光片，其特征在于，所述膜系层具有83层膜层。
5.根据权利要求4所述的CWDM滤光片，其特征在于，所述奇数层中，第1、5、9、11、19、67、71、79层的厚度为222.84nm，第3、8层的厚度为445.68nm，第13、15、17、21、23、25、27、29、31、33、35、37、39、41、43、45、47、49、51、53、55、57、59、61、63、65、69、73、75层的厚度为668.52nm，第7、77层的厚度为1337.04nm，第83层的厚度为150.42nm。
6.根据权利要求4所述的CWDM滤光片，其特征在于，所述偶数层中，第2、4、6、8、10、16、22、28、34、40、46、52、58、64、70、76、78、80层的厚度为97.53nm，第12、18、24、30、36、42、48、54、60、66、72层的厚度为195.07nm，第14、20、26、32、38、44、50、56、62、68、74层的厚度为292.6nm，第82层的厚度为86.61nm。
7.根据权利要求1所述的CWDM滤光片，其特征在于，所述基片为具有高透射率的D263T或K9玻璃。
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