[发明专利]一种高屏蔽效能ITO膜的制造工艺及其设备

说明书

本发明公开了一种高屏蔽效能ITO膜的制造工艺及其设备，主要包括外框、电热器、真空机、过滤器和基板架，所述外框顶端中部固定安装有顶壳，顶壳内侧固定安装有电热器，电热器底端装配安装有原料盒，所述外框左侧转动安装有密封门。本发明涉及一种高屏蔽效能ITO膜的制造工艺及其设备，通过内设的灵活基板架，配合紧凑的驱动机械结构，导电结构位于内部，避免外部元素的腐蚀，适应稳定好，镀膜均匀性好，自身寿命有保证，过滤器在抽真空时周期，可以保证滤芯外表面的清洁，避免堵塞，且不需要单独外接驱动设备，对真空设备的做功进行充分利用，更加节能，产生的薄膜真身的屏蔽能力好，自身保护完善。

技术领域

本发明涉及ITO膜制造设备领域，具体是一种高屏蔽效能ITO膜的制造工艺及其设备。

背景技术

ITO薄膜是一种n型半导体材料，具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性。它是液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、电致发光显示器(EL/OLED)、触摸屏(TouchPanel)、太阳能电池以及其他电子仪表的透明电极最常用的薄膜材料，在进行ITO薄膜加工时，多采用磁控溅射方法进行镀膜。

现有的镀膜设备的结构简陋，自身结构固定，且基板自身的温度低或者温度不均匀，会造成镀膜均匀性差，同时结构的自净能力差，真空排气速率慢，会影响镀膜进度，且镀膜的工艺差，镀膜的屏蔽效能差，且自身的自我能力不足，影响透光度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高屏蔽效能ITO膜的制造工艺及其设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备，主要包括外框、电热器、真空机、过滤器和基板架，所述外框顶端中部固定安装有顶壳，顶壳内侧固定安装有电热器，电热器底端装配安装有原料盒，所述外框左侧转动安装有密封门，所述外框前后侧壁贯穿固定安装有电极座，所述外框底端固定安装有底框，底框底端固定安装有检修板，所述底框顶端固定安装有压环，压环与底框之间压接安装有转盘，转盘内侧边缘处贯穿安装有绝缘套，绝缘套内侧转动安装有基板架，基板架底端固定安装有齿轮，所述底框内侧下部固定安装有下齿圈，下齿圈与齿轮啮合连接，所述检修板顶端中部固定安装有控温供电器，控温供电器顶端固定安装有中管，中管外侧转动安装有绝缘环，绝缘环外壁与转盘中部内壁固定连接，所述绝缘环内部嵌设固定安装有上下排列的总供电环，总供电环外侧套设转动安装有总导电环，总导电环与总供电环电性转动连接，所述总导电环侧壁通过线束固定安装有导电环，导电环套设安装在基板架外侧下部，所述转盘底端固定安装有内齿环，所述检修板顶端左部固定安装有电机，电机通过外接齿轮与内齿环啮合连接；

所述外框右侧上部开设有通口，所述外框右侧上部外壁固定安装有引风壳，引风壳内部固定安装有滑套，滑套中部滑动安装有滑杆，滑杆顶端固定安装有顶板，顶板顶端中部固定安装有配重块，配重块底端中部固定安装有波纹管，波纹管底端侧壁固定连接引风壳顶端中部侧壁，所述引风壳顶端贯穿固定安装有波纹管配合的供气头，供气头右端通过管道固定连接有电磁阀，所述引风壳底端侧壁开设有通风孔，所述引风壳底端固定安装有过滤器，过滤器顶端固定安装有真空机，真空机的排风口通过管道与电磁阀底端开口导通，所述滑杆底端固定连接过滤器。

一种高屏蔽效能ITO膜的制造工艺，包括以下步骤：

1)将电镀原料放在原料盒中，采用电热器通电，使高能电流通过电镀原料混合料，使其升华；

2)将基板放在载板上，通过卡块将基板夹紧，将密封门关紧；

3)在外接控制设备上进行镀膜预设，采用周期膜系，预先设定每层厚度，使其正好为设计波长的1/4的倍数，通过计算的到低反射率的必须折射率值，简化镀膜对厚度的控制操作。屏蔽效果随方电阻的减少而增加，方电阻的数值与ITO膜层的电阻率和膜厚有关，其中电阻＝电阻率/膜厚。