[发明专利]一种基于贵金属吸收的光驱动微马达系统

权利要求书

1.一种基于贵金属吸收的光驱动微马达系统，其特征在于，包括：第一固定部、第二固定部、旋转部、贵金属部；所述第一固定部和所述第二固定部相对设置，所述第一固定部的表面设有第一凹陷部，所述第二固定部的表面设有第二凹陷部，所述旋转部为椭球形，所述旋转部长轴两端分别限制在所述第一凹陷部和所述第二凹陷部内，所述贵金属部设置在所述旋转部表面短轴一端附近，所述贵金属部不环绕所述旋转部，所述贵金属部不与所述第一固定部或所述第二固定部接触。

2.如权利要求1所述的基于贵金属吸收的光驱动微马达系统，其特征在于：所述贵金属部为贵金属薄膜。

3.如权利要求2所述的基于贵金属吸收的光驱动微马达系统，其特征在于：所述贵金属薄膜中设有孔洞。

4.如权利要求1所述的基于贵金属吸收的光驱动微马达系统，其特征在于：所述贵金属部为贵金属颗粒。

5.如权利要求4所述的基于贵金属吸收的光驱动微马达系统，其特征在于：所述贵金属颗粒的个数为多个。

6.如权利要求5所述的基于贵金属吸收的光驱动微马达系统，其特征在于：所述贵金属颗粒的直径大于20纳米、小于100纳米。

7.如权利要求6所述的基于贵金属吸收的光驱动微马达系统，其特征在于：所述贵金属颗粒间的距离小于20纳米。

8.如权利要求1-7任一项所述的基于贵金属吸收的光驱动微马达系统，其特征在于：所述第一固定部和所述第二固定部的材料为二氧化硅。

9.如权利要求8所述的基于贵金属吸收的光驱动微马达系统，其特征在于：所述旋转部的材料为二氧化硅。

10.如权利要求9所述的基于贵金属吸收的光驱动微马达系统，其特征在于：所述贵金属部的材料为金。