[发明专利]一种基于悬臂梁的高灵敏温度探测装置在审

专利信息
申请号: 202011088000.3 申请日: 2020-10-13
公开(公告)号: CN112161722A 公开(公告)日: 2021-01-01
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 金华伏安光电科技有限公司
主分类号: G01K11/26 分类号: G01K11/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 322200 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 悬臂梁 灵敏 温度 探测 装置
【权利要求书】:

1.一种基于悬臂梁的高灵敏温度探测装置,其特征在于,包括:振源、悬臂梁、压电材料块、热膨胀材料部;所述悬臂梁固定在所述振源上,所述压电材料块设置在所述悬臂梁顶面上靠近固定端的部位,所述压电材料块与外部电路连接,所述热膨胀材料部设置在所述悬臂梁内。

2.如权利要求1所述的基于悬臂梁的高灵敏温度探测装置,其特征在于:所述热膨胀材料部设置在所述悬臂梁靠近固定端的部位内。

3.如权利要求2所述的基于悬臂梁的高灵敏温度探测装置,其特征在于:所述悬臂梁的截面为矩形。

4.如权利要求3所述的基于悬臂梁的高灵敏温度探测装置,其特征在于:所述热膨胀材料部的截面为矩形。

5.如权利要求4所述的基于悬臂梁的高灵敏温度探测装置,其特征在于:所述热膨胀材料部的截面非对称地设置在所述悬臂梁的截面内。

6.如权利要求1-5任一项所述的基于悬臂梁的高灵敏温度探测装置,其特征在于:所述悬臂梁的材料为铝合金、硅、半导体材料、金刚石。

7.如权利要求6所述的基于悬臂梁的高灵敏温度探测装置,其特征在于:所述压电材料块的材料为压电陶瓷或聚偏氟乙烯。

8.如权利要求7所述的基于悬臂梁的高灵敏温度探测装置,其特征在于:所述热膨胀材料部截面的长边与所述悬臂梁截面的长边平行。

9.如权利要求8所述的基于悬臂梁的高灵敏温度探测装置,其特征在于:所述热膨胀材料部为固体,所述热膨胀材料部与所述悬臂梁表面间设有孔洞。

10.如权利要求8所述的基于悬臂梁的高灵敏温度探测装置,其特征在于:所述热膨胀材料部的材料为液体材料。

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