[发明专利]换能器

权利要求书

1.一种换能器，包括：

多个工作结构，其中每一该工作结构包括：

一第一电极；

一空腔定义层，设置于该第一电极上，其中该空腔定义层具有一振荡膜和支撑部，该支撑部设置于第一电极上，该振荡膜连接至该支撑部的远离第一电极的一侧，以悬挂于该第一电极上方，该振荡膜设置于该第一电极的上方，该振荡膜具有一主要部以及由该主要部向外延伸的多个辅助部，该振荡膜的该主要部与该支撑部的侧壁以及该第一电极之间具有一空腔，该振荡膜的多个所述辅助部与该支撑部的侧壁以及该第一电极之间具有多个通道，且该振荡膜的多个所述辅助部分别具有多个贯孔；

一第二电极，设置于该振荡膜的该主要部上；以及

多个封止件，设置于该空腔定义层上和多个所述贯孔中；

其中，多个所述工作结构包括一第一工作结构，该第一工作结构的多个所述通道包括多个通道组，每一该通道组的多个通道设置于该第一工作结构的该空腔的相对两侧，位于每一该通道组的每一该通道上的一该贯孔设置于该第一工作结构的该空腔与相邻的另一该工作结构的该空腔之间，且该第一工作结构的多个所述通道组是交错设置。

2.如权利要求1所述的换能器，其中每一该工作结构的该第二电极具有一第一部和一第二部，该第二电极的该第一部设置于该振荡膜的该主要部上，该第二电极的该第二部设置于该空腔外，且该第二电极的该第二部的在一方向上的一宽度小于该第二电极的该第一部在该方向上的一宽度。

3.如权利要求2所述的换能器，其中一拟直线通过该第一工作结构的一该通道组的多个所述通道上的多个所述贯孔，该第一工作结构的该第二电极的该第二部的一延伸方向与该拟直线具有一夹角θ，且10°≤θ≤80°。

4.如权利要求2所述的换能器，其中该第二电极的该第一部的该宽度为L1，该第二电极的该第二部的该宽度为L2，且0.01≤(L2/L1)≤1。

5.如权利要求1所述的换能器，其中多个所述工作结构设置于一基板上，该第一工作结构的一该贯孔于该基板上的一垂直投影位于该第一工作结构的一该通道于该基板上的一垂直投影以内。

6.如权利要求1所述的换能器，其中该每一该通道的一宽度落在3μm至8μm的范围。

7.如权利要求1所述的换能器，其中该第一工作结构的至少一该通道与相邻的另一该工作结构的至少一该通道直接地连接。

8.如权利要求1所述的换能器，其中该第一工作结构的至少一该通道与相邻的另一该工作结构的至少一该通道彼此分离。

9.如权利要求1所述的换能器，其中该第一工作结构的一该通道与相邻的另一该工作结构的一该通道直接地连接，且该第一工作结构的另一该通道与相邻的再一该工作结构的一该通道彼此分离。

10.一种换能器，包括：

多个工作结构，其中每一该工作结构包括：

一第一电极；

一空腔定义层，设置于该第一电极上，其中该空腔定义层具有一振荡膜和支撑部，该支撑部设置于第一电极上，该振荡膜连接至该支撑部的远离第一电极的一侧，以悬挂于该第一电极上方，该振荡膜设置于该第一电极的上方，该振荡膜具有一主要部以及由该主要部向外延伸的多个辅助部，该振荡膜的该主要部与该支撑部的侧壁以及该第一电极之间具有一空腔，该振荡膜的多个所述辅助部与该支撑部的侧壁以及该第一电极之间具有多个通道，且该振荡膜的多个所述辅助部分别具有多个贯孔；

一第二电极，设置于该振荡膜的该主要部上；以及

多个封止件，设置于该空腔定义层上和多个所述贯孔中；

其中，多个所述工作结构包括一第一工作结构，该第一工作结构的多个所述通道包括多个通道组，每一该通道组的多个通道设置于该第一工作结构的该空腔的相对两侧，且位于每一该通道组的每一该通道上的一该贯孔设置于该第一工作结构的该空腔与相邻的另一该工作结构的该空腔之间。