[发明专利]一种自动开门无尘烤箱

权利要求书

1.一种自动开门无尘烤箱，其特征在于：包括箱体、安装在所述箱体上的气动门组件、设置在所述箱体内的承载组件、设置在所述箱体上的气动门组件以及安装在所述箱体顶部的除尘组件，所述气动门组件包括设置在所述箱体侧壁上的门板，所述承载组件包括对应所述门板设置的承载架，所述加热组件包括安装在所述箱体侧壁上的换热排管，所述换热排管沿所述承载架的高度方向均匀铺设，所述除尘组件包括固定安装在所述箱体顶壁上的吸尘罩以及固定安装在所述箱体顶壁上的吸尘风机，所述吸尘罩罩设所述承载架设置，所述吸尘风机的转轴伸入所述吸尘罩中，晶圆片靠近所述箱体时，所述门板沿所述箱体打开，所述晶圆片可穿插至所述承载架上。

2.根据权利要求1所述的一种自动开门无尘烤箱，其特征在于：所述箱体上开有进料口，所述门板对应所述进料口设置在所述箱体上，所述承载架对应所述进料口安装在所述箱体内。

3.根据权利要求2所述的一种自动开门无尘烤箱，其特征在于：所述气动门组件还包括安装在所述进料口上的轨道盖以及设置在所述轨道盖内的推动气缸，所述门板可移动的安装在所述轨道盖内，所述推动气缸和所述门板固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种自动开门无尘烤箱，其特征在于：所述轨道盖中安装有轨道，所述气动门组件还包括可滑动地安装在所述轨道上的连接块，所述连接块固定安装在所述门板上，所述推动气缸的活塞轴固定连接至所述连接块上。

5.根据权利要求1所述的一种自动开门无尘烤箱，其特征在于：所述承载组件还包括安装在所述箱体内机构内的隔板，所述隔板在所述箱体内组装成朝向所述门板的空腔结构，所述承载架固定安装在所述空腔结构中。

6.根据权利要求1所述的一种自动开门无尘烤箱，其特征在于：所述加热组件还包括安装在所述箱体侧壁上的搅拌电机以及通气板，所述通气板对应所述搅拌电机设置，所述通气板和所述进料口相对，所述通气板上开有通槽，所述通槽连通所述箱体内外空间。

7.根据权利要求1所述的一种自动开门无尘烤箱，其特征在于：所述除尘组件还包括安装在所述箱体内的吸尘管道，所述吸尘管道的一端对应笼罩所述承载架设置，另一端连通至所述吸尘罩上。