[发明专利]氟化钇喷涂材料、氧氟化钇沉积的制品和制备方法

权利要求书

1.用于制备氧氟化钇沉积的制品的方法，包括以下步骤：使用喷涂材料进行大气等离子体喷涂，以形成由YOF和Y₅O₄F₇组成的氧氟化钇喷涂的涂层，其中

所述喷涂材料包含Y₅O₄F₇和YF₃，并且不含Y₂O₃，

所述Y₅O₄F₇和YF₃由30至90重量％的Y₅O₄F₇和余量的YF₃组成，相对于Y₅O₄F₇和YF₃的总和计，

所述喷涂材料具有通过激光衍射法测量的不小于10μm且不大于60μm的平均粒度D50、不小于1.2g/cm³且不大于2.5g/cm³的堆积密度，

所述喷涂材料通过如下方法制备：混合10至40重量％的具有通过激光衍射法测量的不小于0.01μm且不大于3μm的平均粒度的氧化钇与余量的通过激光衍射法测量的具有不小于0.01μm且不大于3μm的平均粒度的由式(YF₃)₃NH₄F·H₂O表示的氟化铵络合物盐，造粒和烧制。

2.根据权利要求1所述的方法，其中在基材上形成所述氧氟化钇喷涂的涂层，并且所述基材选自不锈钢、铝、镍、镍合金、铬、铬合金、锌、锌合金、氧化铝、氮化铝、氮化硅、碳化硅和石英玻璃。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述喷涂的涂层具有50～500μm的厚度。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述Y₅O₄F₇和YF₃由43至71重量％的Y₅O₄F₇和余量的YF₃组成。