[发明专利]显示面板及其制作方法在审
申请号: | 202011093563.1 | 申请日: | 2020-10-14 |
公开(公告)号: | CN112259693A | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 苗洋 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L27/32;H01L21/77;B82Y40/00;B82Y30/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 王红红 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制作方法 | ||
1.一种显示面板,其特征在于,包括:
显示基底,所述显示基底包括基板、以及依次设置于所述基板上的薄膜晶体管器件层以及发光功能层;
封装层,设置于所述显示基底上,并至少覆盖所述发光功能层,所述封装层包括至少一水汽阻挡层;以及
微晶薄膜,设置于所述至少一水汽阻挡层上,且所述微晶薄膜内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述封装层包括多个水汽阻挡层,且所述微晶薄膜设置于所述多个水汽阻挡层中的任意一者上。
3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述封装层包括依次设置于所述显示基底上的第一水汽阻挡层、应力缓冲层以及第二水汽阻挡层,且所述微晶薄膜设置于所述第一水汽阻挡层与所述应力缓冲层之间,或所述微晶薄膜设置于所述第二水汽阻挡层上。
4.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述纳米颗粒包括金属氧化物纳米颗粒。
5.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述金属氧化物纳米颗粒包括氧化锌纳米颗粒、二氧化钛纳米颗粒中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述微晶薄膜在所述基板上的投影面积大于或等于所述发光功能层在所述基板上的投影面积。
7.一种显示面板的制作方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
依次制备薄膜晶体管器件层、发光功能层于基板上,以形成显示基底;
制备封装层于所述显示基底上,所述封装层包括至少一水汽阻挡层;以及
制备微晶薄膜于所述至少一水汽阻挡层上,且所述微晶薄膜内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒。
8.根据权利要求7所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述制备微晶薄膜于所述至少一水汽阻挡层上包括:
将纳米颗粒溶液制于所述至少一水汽阻挡层上形成纳米颗粒薄膜;以及
对所述纳米颗粒薄膜进行退火处理或等离子处理,以形成所述微晶薄膜。
9.根据权利要求8所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述纳米颗粒溶液包括氧化锌纳米颗粒溶液、二氧化钛纳米颗粒溶液中的至少一种。
10.根据权利要求7所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述封装层包括第一水汽阻挡层,且所述微晶薄膜制备于所述第一水汽阻挡层上;
且所述方法还包括:
制备应力缓冲层于所述微晶薄膜上;以及
制备第二水汽阻挡层于所述应力缓冲层上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择