[发明专利]一种钛铝合金靶材的焊接方法

权利要求书

1.一种钛铝合金靶材的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括以下步骤：

(1)对钛铝合金靶材和背板分别进行表面预处理，所述表面预处理为喷砂镀镍处理和/或抛光处理；

(2)对经过表面预处理的钛铝合金靶材进行加热，然后将焊料分布在钛铝合金靶材的焊接面上；

(3)对经过表面预处理的背板进行加热，然后将焊料分布在背板的焊接面上；

(4)将分布有焊料的钛铝合金靶材与分布有焊料的背板贴合并进行钎焊焊接，冷却后得到钛铝合金靶材组件；

其中，步骤(2)与步骤(3)不分先后顺序。

2.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述钛铝合金靶材的表面预处理为喷砂镀镍处理；

优选地，所述喷砂镀镍处理的喷砂粗糙度为5-20μm；

优选地，所述喷砂镀镍处理的镀镍厚度为1-15μm。

3.根据权利要求1或2所述的焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述背板的材料为铜基合金或铝基合金；

优选地，所述背板的表面预处理为抛光处理；

优选地，所述抛光处理的粗糙度为0.1-5μm。

4.根据权利要求1-3任一项所述的焊接方法，其特征在于，步骤(2)所述加热的温度为160-300℃；

优选地，步骤(2)所述焊料为铟焊料；

优选地，步骤(2)所述焊料在分布过程中还伴随超声波处理；

优选地，步骤(2)所述焊料在分布结束后还包括钢刷磨刷焊接面的操作。

5.根据权利要求1-4任一项所述的焊接方法，其特征在于，步骤(3)所述加热的温度为160-300℃；

优选地，步骤(3)所述背板的焊接面中央设置有焊料槽，所述焊料分布在所述焊料槽中；

优选地，步骤(3)所述焊料为铟焊料；

优选地，步骤(3)所述焊料在分布过程中还伴随超声波处理；

优选地，步骤(3)所述焊料在分布结束后还包括钢刷磨刷焊料槽的操作。

6.根据权利要求4所述的焊接方法，其特征在于，步骤(2)与步骤(4)之间还包括对钢刷磨刷后的焊接面进行刮平操作；

优选地，所述刮平操作所用的工具为刮刀。

7.根据权利要求5所述的焊接方法，其特征在于，步骤(3)与步骤(4)之间还包括对钢刷磨刷后的焊料槽进行刮平操作；

优选地，所述刮平操作所用的工具为刮刀。

8.根据权利要求5所述的焊接方法，其特征在于，步骤(4)所述背板的焊料槽中放置有1-5个同心圆；

优选地，所述同心圆的材质为金属丝；

优选地，所述金属丝的直径为0.1-1mm；

优选地，所述同心圆的间距相等。

9.根据权利要求1-8任一项所述的焊接方法，其特征在于，步骤(4)所述贴合伴随按压过程。

10.根据权利要求1-9任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括以下步骤：

(1)对钛铝合金靶材的表面进行喷砂镀镍处理，喷砂粗糙度为5-20μm，镀镍厚度为1-15μm；对背板的表面进行抛光处理，且抛光处理的粗糙度为0.1-5μm；所述背板的材料为铜基合金或铝基合金；

(2)对步骤(1)所得钛铝合金靶材进行160-300℃的加热后，将铟焊料分布在所述钛铝合金靶材的焊接面上，所述铟焊料在分布过程中还伴随超声波处理，所述铟焊料在分布结束后还包括钢刷磨刷焊接面操作，再用刮刀对钛铝合金靶材的焊接面进行刮平操作；

(3)对步骤(1)所得背板进行160-300℃的加热后，将铟焊料分布在所述背板的焊料槽中，所述铟焊料在分布过程中还伴随超声波处理，所述铟焊料在分布结束后还包括钢刷磨刷焊料槽操作，再用刮刀对背板的焊料槽进行刮平操作；

(4)在步骤(3)所得背板的焊料槽中放置1-5个金属丝同心圆，金属丝的直径为0.1-1mm，且各个同心圆的间距相等；将步骤(2)所得钛铝合金靶材的焊接面与背板的焊料槽按压贴合并进行焊接，冷却后得到钛铝合金靶材组件；

其中，步骤(2)与步骤(3)不分先后顺序。