[发明专利]抛光浆料和制造半导体器件的方法

权利要求书

1.抛光浆料，包括

富勒烯衍生物，和

至少一种具有至少一个带正电的官能团的化合物。

2.如权利要求1所述的抛光浆料，其中所述富勒烯衍生物具有至少一个带负电的官能团。

3.如权利要求2所述的抛光浆料，其中所述带负电的官能团包括以下的至少一种：羟基、羰基、羧酸根或羧酸盐基团、磺酸根或磺酸盐基团、硫酸根或硫酸盐基团、巯基、或者磷酸根或磷酸盐基团。

4.如权利要求1所述的抛光浆料，其中所述富勒烯衍生物由化学式1表示：

化学式1

C_x(OH)_y

其中，x为60、70、74、76或78且y为12至44的整数。

5.如权利要求1所述的抛光浆料，其中所述富勒烯衍生物的平均粒径小于10纳米。

6.如权利要求1所述的抛光浆料，其中所述至少一种具有至少一个带正电的官能团的化合物具有大于或等于4.3eV且小于或等于5.3eV的LUMO能级。

7.如权利要求1所述的抛光浆料，其中所述至少一个带正电的官能团包括含氮官能团。

8.如权利要求7所述的抛光浆料，其中所述含氮官能团包括以下的至少一种：氨基、硝基、仲胺基团、叔胺基团、季铵基团、二胺基团、多元胺基团、偶氮基团、酰胺基团或含氮杂环基团。

9.如权利要求7所述的抛光浆料，其中

具有包括含氮官能团的带正电的官能团的至少一种化合物进一步包括含氧官能团，其中所述化合物中的氮(N)相对于氧(O)的原子比大于或等于0.25。

10.如权利要求9所述的抛光浆料，其中所述含氧官能团包括以下的至少一种：羟基、酯基、羰基或羧酸基团。

11.如权利要求1所述的抛光浆料，其中至少一种具有带正电的官能团的化合物具有至少两个带正电的官能团。

12.如权利要求1所述的抛光浆料，其中至少一种具有带正电的官能团的化合物包括以下的至少一种：亮氨酸、赖氨酸、蛋氨酸、缬氨酸、丝氨酸、半胱氨酸、胱氨酸、精氨酸、天冬酰胺、天冬氨酸、丙氨酸、鸟氨酸、异亮氨酸、苏氨酸、酪氨酸、谷氨酰胺、谷氨酸、甘氨酸、组氨酸、苯丙氨酸、脯氨酸、尿素、甜菜碱、或其组合。

13.如权利要求1所述的抛光浆料，其中至少一种具有带正电的官能团的化合物包括包含一个带正电的官能团的第一化合物和包含两个或更多个带正电的官能团的第二化合物。

14.如权利要求13所述的抛光浆料，其中

所述第一化合物包括以下的至少一种：亮氨酸、蛋氨酸、缬氨酸、丝氨酸、半胱氨酸、天冬氨酸、丙氨酸、异亮氨酸、苏氨酸、酪氨酸、谷氨酸、甘氨酸、苯丙氨酸、脯氨酸、甜菜碱、或其组合，和

所述第二化合物包括以下的至少一种：赖氨酸、胱氨酸、精氨酸、天冬酰胺、鸟氨酸、谷氨酰胺、组氨酸、尿素、或其组合。

15.如权利要求13所述的抛光浆料，其中所述第一化合物和所述第二化合物以1:3至10:1的重量比存在。

16.如权利要求1所述的抛光浆料，其中至少一种具有带正电的官能团的化合物在水中具有正电荷。

17.如权利要求1所述的抛光浆料，其中

以0.001重量％至5重量％的量包括所述富勒烯衍生物，和

以0.001重量％至1重量％的量包括具有带正电的官能团的化合物，

基于所述抛光浆料的总重量。