[发明专利]自调节弹性节能抛光装置

权利要求书

1.一种自调节弹性节能抛光装置，由抛光头组件、抛光盘组件、滴液喷头组件和抛光液回收装置组成，所述抛光盘组件置于抛光液回收装置的抛光液收集罩中，所述抛光盘组件上部一侧设有抛光头组件，另一侧设有滴液喷头组件，其特征在于：所述抛光头组件包括丝杠驱动机构、弹性抛光机构以及电推杆夹具，所述丝杠驱动机构安装在升降盖和抛光头外壳之间，并通过升降盖带动内滑块上下移动，所述弹性抛光机构中的内滑块置于抛光头外壳内，并与抛光头外壳导向滑动连接，所述内滑块上端与抛光头外壳之间通过主弹簧连接，所述内滑块下端与抛光头外壳下部的底部螺旋盖之间通过支撑弹簧连接，所述内滑块上端与升降盖之间通过穿过抛光头外壳顶部的拉伸弹簧相连接；所述内滑块的下部分内设有均布的电推杆夹具，所述电推杆夹具中的电推杆通过卡爪装夹用于粘黏抛光工件的载片盘。

2.根据权利要求1所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述抛光头组件中的丝杠通过螺母、法兰盖和丝杠底盖固定在升降盖上，所述丝杠下端通过丝杠轴承与抛光头外壳连接，并用下端盖和螺栓轴向固定，所述丝杠上端通过联轴器连接异步电机。

3.根据权利要求1所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述内滑块的底端内装有位移传感器，所述位移传感器通过控制器连接异步电机。

4.根据权利要求1所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述内滑块的外圆柱上通过分布的滑块翼与抛光头外壳内部的滑槽相配连接；所述内滑块上下端分别设有大型弹簧限位管和小型弹簧限位管，大型弹簧限位管和小型弹簧限位管分别与抛光头外壳上的双层弹簧限位管和底部螺旋盖上的中型弹簧限位管嵌套配合，所述小型弹簧限位管内装有支撑弹簧，支撑弹簧两端分别与内滑块和底部螺旋盖接触连接，大型弹簧限位管内装有主弹簧，主弹簧两端分别与抛光头外壳和内滑块的大型弹簧限位管底部中的拉伸弹簧下接盘接触连接。

5.根据权利要求1所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述卡爪呈弧形，并通过螺纹旋入电推杆内，并能随装夹不同形状的载片盘或工件来更换卡爪的类型。

6.根据权利要求1所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述抛光盘组件中的抛光盘主轴通过抛光盘轴承与抛光液收集罩连接；所述抛光盘上设有集液槽和集液通孔，用于收集遗留在抛光盘上的抛光液。

7.根据权利要求5所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述抛光液收集罩通过卡接套直接套在抛光盘主轴上的抛光盘轴承上，所述抛光液收集罩的底部内壁上设有螺旋剑齿纹，底端设有过滤网。

8.根据权利要求5所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述抛光液收集罩底部通过回收液支管、压力泵和主管道连接至滴液喷头组件，所述主管道下端浸入全新抛光液中，所述主管道与回收液支管连接处下方设置单向阀，用于防止过滤后的抛光液向下流动污染新液。

9.根据权利要求1所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述滴液喷头组件包含进液轴、锁紧盖、喷头上盖、喷头阀片、喷头底盖、刻度盘、封闭环，所述进液轴通过螺纹与主管道连接，并通过锁紧盖与喷头上盖固定连接；所述喷头上盖与喷头底盖之间设有可旋转的喷头阀片，喷头阀片中设有多条连通进液轴底部的进液筛孔的孔道及内孔，喷头底盖上设有多个喷头底盖通孔，所述封闭环外套于内孔外围，防止抛光液渗入喷头底盖与喷头阀片中间缝隙。

10.根据权利要求9所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述喷头阀片上设有刻度盘，通过刻度盘控制内孔与喷头底盖通孔的重合度来控制出液量；所述刻度盘上共有四组刻度，每组刻度内有三条刻度线，从右往左分别对应小流量、中流量、大流量三种流况。