[发明专利]在生产太阳能电池基板上印刷的装置及传输该基板的方法在审
申请号: | 202011103729.3 | 申请日: | 2014-12-02 |
公开(公告)号: | CN112103230A | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | L·德桑蒂;D·吉斯隆;A·巴希尼;T·瓦塞斯;G·帕斯奎林 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 汪骏飞;侯颖媖 |
地址: | 意大利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 生产 太阳能电池 基板上 印刷 装置 传输 方法 | ||
本公开提供一种用于在用于生产太阳能电池的基板(10)上进行印刷的装置(100)。所述装置(100)包括两个或更多个工艺站(110);至少一个基板支撑件(120),配置成支撑所述基板(10);以及至少一个传输设备(130),配置成在水平方向(300)且在竖直方向(310)上传输所述至少一个基板支撑件(120),以便在所述两个或更多个工艺站(110)之间传输所述至少一个基板支撑件(120)。
本申请是申请日为2014年12月02日、申请号为201480076877.7、题为“在生产太阳能电池基板上印刷的装置及传输该基板的方法”的分案申请。
技术领域
本公开的实施例涉及一种用于在用于生产太阳能电池的基板上进行印刷的装置,且涉及一种用于传输用于生产太阳能电池的基板的方法。本公开的实施例特别涉及一种用于在用于生产太阳能电池的基板上进行丝网印刷的装置。
背景技术
太阳能电池是将阳光直接转换成电力的光伏(PV)设备。在此领域内,已经知道借助印刷技术(诸如丝网印刷)来在基板(诸如晶态硅基底)上生产太阳能电池,从而在太阳能电池的前表面上实现选择性发射器的结构。
用于制造太阳能电池的装置可具有有传输路径的线路配置,其中可沿所述传输路径提供多个工艺站。工艺站可包括一个或更多个印刷站。这样的装置消耗相当大的空间以供安装。为了增加产量,可能安装额外的装置,从而需要甚至更多的安装空间。进一步地,此装置例如对于操作及维护产生成本。
鉴于上述,本公开针对提供用于在基板上进行印刷的装置,所述装置是紧凑的和/或能够生产增大数量的太阳能电池。
发明内容
鉴于上述,提供一种用于在用于生产太阳能电池的基板上进行印刷的装置及一种用于传输用于生产太阳能电池的基板的方法。根据从属权利要求、本说明書及所附附图,本公开的进一步方面、优点及特征是显而易见的。
依据本公开的一方面,提供一种用于在用于生产太阳能电池的基板上进行印刷的装置。所述装置包括两个或更多个工艺站;至少一个基板支撑件,配置成支撑所述基板;以及至少一个传输设备,配置成在水平方向且在竖直方向上传输所述至少一个基板支撑件,以供在所述两个或更多个工艺站之间传输所述至少一个基板支撑件。
较佳地,所述水平方向和所述竖直方向定义基本上竖直定向的二维平面,其中所述至少一个传输设备配置成在所述二维平面中传输所述至少一个基板支撑件。
较佳地,所述至少一个传输设备配置成在所述水平方向且在所述竖直方向上同时或顺序地传输所述至少一个基板支撑件。
较佳地,所述至少一个传输设备包括用于在所述竖直方向上传输所述至少一个基板支撑件的第一电机。
较佳地,所述电机是步进电机、伺服电机或气动电机。
较佳地,所述至少一个传输设备包括用于在所述水平方向上传输所述至少一个基板支撑件的第二电机。
较佳地,所述装置进一步包括至少一个对准设备,配置用于在水平平面中对准所述至少一个基板支撑件的位置和角定向中的至少一者。
较佳地,所述至少一个对准设备被包括在所述至少一个传输设备中和/或所述至少一个基板支撑件中。
较佳地,所述至少一个基板支撑件包括至少一个抽吸设备,所述至少一个抽吸设备配置用于将所述基板固持在所述至少一个基板支撑件上。
较佳地,所述至少一个基板支撑件包括输送器设备,所述输送器设备用于将所述基板输送至所述至少一个基板支撑件上和/或用于从所述至少一个基板支撑件输送所述基板。
较佳地,所述装置配置用于丝网印刷、喷墨印刷以及激光处理中的至少一者。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造