[发明专利]异物检查装置和异物检查方法

权利要求书

1.一种异物检查装置，所述异物检查装置检查包括检查区域和布置在所述检查区域外侧的非检查区域的被检查物体上的异物的存在/不存在，所述装置包括：

传感器，被配置成照明所述被检查物体并且输出通过检测来自包括所述检查区域的区域的光而获取的结果作为图像；以及

处理器，被配置成基于通过从所述传感器输出的所述图像中排除作为所述非检查区域的图像的非检查区域图像而获取的检查区域图像来检测异物，

其中，所述非检查区域图像包括通过来自所述被检查物体的所述非检查区域的预定部分的光而生成的第一部分和其像素值从所述第一部分的像素值起连续的第二部分，并且所述处理器基于所述第二部分的像素值从所述第一部分的像素值起连续的事实来指定所述第二部分。

2.根据权利要求1所述的异物检查装置，其中，所述处理器基于所述预定部分的特征来识别所述第一部分。

3.根据权利要求2所述的异物检查装置，其中，所述非检查区域包括框状部，并且所述预定部分是所述框状部的角部。

4.根据权利要求1所述的异物检查装置，其中，所述第一部分和所述第二部分由各自具有不小于预定值的像素值的像素形成，并且在相邻像素中的每个像素具有不小于预定值的像素值的情况下，所述处理器确定所述相邻像素的像素值具有连续性。

5.根据权利要求1所述的异物检查装置，其中，所述第一部分和所述第二部分由各自具有饱和像素值的像素形成，并且在相邻像素中的每个像素具有饱和像素值的情况下，所述处理器确定所述相邻像素的像素值具有连续性。

6.根据权利要求1所述的异物检查装置，其中，所述传感器包括光照射器和光检测器，所述光照射器被配置成以相对于所述被检查物体的表面的法线倾斜的角度用光照射所述表面，所述光检测器被配置成检测来自所述表面上的异物的光。

7.根据权利要求1所述的异物检查装置，其中，所述处理器通过将基于预设信息从所述检查区域图像中提取的图像设定为检查目标来检测异物。

8.根据权利要求1所述的异物检查装置，其中，所述处理器控制显示单元以便显示所述检查区域图像。

9.根据权利要求8所述的异物检查装置，其中，所述处理器控制所述显示单元，使得异物检查结果将被叠加并显示在所述检查区域图像上。

10.一种异物检查方法，所述异物检查方法用于检查包括检查区域和布置在所述检查区域外侧的非检查区域的被检查物体上的异物，所述方法包括：

照明所述被检查物体并且获取通过检测来自所述检查区域的光而获取的结果作为图像；以及

基于通过从所述获取中获取的所述图像中排除作为所述非检查区域的图像的非检查区域图像而获取的检查区域图像来检测异物，

其中，所述非检查区域图像包括通过来自所述被检查物体的所述非检查区域的预定部分的光而生成的第一部分和其像素值从所述第一部分的像素值起连续的第二部分，并且基于所述第二部分的像素值从所述第一部分的像素值起连续的事实在所述检测中识别所述第二部分。