[发明专利]一种具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线及工作方法

权利要求书

1.一种具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线，包括依次通过门阀连接的进片锁室、进片缓冲室、进片过渡室、镀膜室、出片过渡室、出片缓冲室和出片锁室，其特征在于，所述分段式真空系统包括三个双向服务阀(FF1、FF2、FF3)，13个气动蝶阀(BV1～BV13)，2台螺杆泵(SP1、SP2)，3台罗茨泵(RP1、RP2、RP3)，若干分子泵(TP1～TPn)，若干手动角阀(AV1～AVn)，若干真空规；

所述镀膜室由1～n个镀膜腔体组成，所述双向服务阀分别安装于进片过渡室和所述镀膜室之间、出片过渡室和所述镀膜室之间、第n/2和第n/2+1个镀膜腔体之间；

所述分子泵TP1～TPn分别安装在所述1～n个镀膜腔体上，并管路连接于真空主管道(7)上；所述3台罗茨泵(RP1、RP2、RP3)作为所述分子泵(TP1～TPn)的前级泵，所述第一罗茨泵(RP1)通过第一真空支线管道(1)连接于真空主管道(7)和真空管道(2)之间；所述第三罗茨泵(RP3)通过第二真空支线管道(6)连接于真空主管道(7)和真空管道(2)之间；所述第二罗茨泵(RP2)通过“Y”形真空支线管道(4)连接于真空主管道(7)和真空管道(2)之间；

所述2台螺杆泵(SP1、SP2)为所述3台罗茨泵(RP1、RP2、RP3)的前级泵，并分别通过第三真空支线管道(3)和第四真空支线管道(5)连接于真空管道(2)上；

所述真空主管道(7)上依次安装有气动蝶阀(BV5、BV6、BV9、BV12和BV13)；所述第五气动蝶阀(BV5)在进片缓冲室和进片过渡室之间的门阀的位置；所述第六气动蝶阀(BV6)、第九气动蝶阀(BV9)、第十二气动蝶阀(BV12)分别在3个所述双向服务阀(FF1～FF3)位置处；所述气动蝶阀(BV13)在出片缓冲室和出片过渡室之间的门阀的位置；所述真空主管道(7)两端分别和所述进片缓冲室和出片缓冲室真空系统的前级管道连接；

第三真空规(VG3)和第八真空规(VG8)分别安装在所述第一真空支线管道(1)和所述第二真空支线管道(3)上；第四真空规(VG4)和第五真空规(VG5)分别安装在所述“Y”形真空支线管道(4)的分支管道上；每个所述镀膜腔体上均设置有一真空规，其中，第一真空规(VG1)和第二真空规(VG2)分别安装在第n/2和第n/2+1个镀膜腔体上。

2.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线，其特征在于，所述分子泵(TP1～TPn)的抽气口位置均设有一手动角阀。

3.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线，其特征在于，所述第一真空支线管道(1)、第二真空支线管道(6)和所述“Y”形真空支线管道(4)的分支管道上分别设置有第七气动蝶阀(BV7)、第十一气动蝶阀(BV11)、第八气动蝶阀(BV8)和第十气动蝶阀(BV10)。

4.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线，其特征在于，所述第三真空规(VG3)、第四真空规(VG4)、第五真空规(VG5)和第八真空规(VG8)均设置于气动蝶阀和所述主真空管道(7)之间。

5.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线，其特征在于，所述第一真空支线管道(1)与真空主管道(7)的连接点位于所述第六气动蝶阀(BV6)和所述第九气动蝶阀(BV9)之间；所述第二真空支线管道(6)与真空主管道(7)的连接点位于所述第十二气动蝶阀(BV12)和所述第九气动蝶阀(BV9)之间；所述“Y”形真空支线管道(4)的分支管道与真空主管道(7)的两个连接点分别位于所述第九气动蝶阀(BV9)的两端。

6.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线，其特征在于，所述真空管道(2)上还安装有第三气动蝶阀(BV3)和第四气动蝶阀(BV4)，且分别位于所述第二罗茨泵(RP2)排气口的两侧。

7.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线，其特征在于，安装所述第一螺杆泵(SP1)和所述第二螺杆泵(SP2)的第三真空支线管道(3)和第四真空支线管道(5)上还分别安装有第一气动蝶阀(BV1)和第二气动蝶阀(BV2)。