[发明专利]一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置

权利要求书

1.一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置，其特征在于：至少包括片库腔室、片库门组件和至少一个二维气缸组件。

2.如权利要求1所述的一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置，所述片库腔室位于离子注入机大气端和离子注入机真空端之间，所述片库腔室切换成大气状态与所述离子注入机大气端连接，所述片库腔室切换成真空状态与所述离子注入机真空端连接。

3.如权利要求2所述的一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置，其特征在于：所述二维气缸组件安置于所述片库腔室上，至少包括第一方向气缸、分气块和至少一个第二方向气缸，所述二维气缸组件的运动输出方向包括第一方向和第二方向，所述第一方向与所述第二方向不平行。

4.如权利要求3所述的一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置，其特征在于：所述第一方向气缸至少包括第一方向缸体、第一方向输出机构和至少一个导气管，所述第一方向缸体至少开设有第一通气孔和第二通气孔、相连通的第一方向杆侧腔和第一方向无杆侧腔，所述第一通气孔连接所述第一方向无杆侧腔，所述第二通气孔连接所述第一方向杆侧腔。

5.如权利要求4所述的一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置，其特征在于：所述第一方向输出机构至少包括第一方向活塞和第一方向输出轴，所述第一方向活塞至少设有第一节流孔，所述第一节流孔连接所述第一方向无杆侧腔，所述第一方向输出轴安置于所述第一方向活塞上，所述第一方向输出轴至少开设有第三通气孔和第四通气孔，所述第三通气孔连接所述第一方向杆侧腔和所述第四通气孔，所述第一方向输出轴与所述第一方向平行。

6.如权利要求5所述的一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置，其特征在于：所述导气管至少开设有第五通气孔，所述第五通气孔连接所述第一节流孔。

7.如权利要求6所述的一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置，其特征在于：所述分气块安置于所述第一方向输出轴上，所述分气块至少开设有第六通气孔、第七通气孔、第二节流孔和第三节流孔，所述第六通气孔直径大于所述第七通气孔，所述第六通气孔连接所述第四通气孔和所述第二节流孔，所述第七通气孔连接所述第五通气孔和所述第三节流孔。

8.如权利要求7所述的一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置，其特征在于：所述第二方向气缸安置于所述分气块上，所述第二方向气缸至少包括第二方向缸体、第二方向输出机构和弹性机构，所述第二方向缸体至少开设有第八通气孔和第九通气孔、相连通的第二方向杆侧腔和第二方向无杆侧腔，所述第八通气孔连接所述第二节流孔和所述第二方向杆侧腔，所述第九通气孔连接所述第三节流孔和所述第二方向无杆侧腔。

9.如权利要求8所述的一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置，其特征在于：所述第二方向输出机构至少包括第二方向活塞和第二方向输出轴，所述第二方向输出轴安置于所述第二方向活塞上，所述第二方向输出轴与所述第二方向平行，所述弹性机构位于所述第二方向无杆侧腔内。

10.如权利要求9所述的一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置，其特征在于：所述片库门组件安置于所述第二方向输出轴上，所述第一方向输出轴和所述第二方向输出轴完全缩回时，所述片库门组件与所述片库腔室贴合，所述第一方向输出轴和所述第二方向输出轴完全缩回时，所述片库门组件与所述片库腔室分离。