[发明专利]一种MCQC AOI检查设备及其检查方法

说明书

本发明公开了一种MCQC AOI检查设备及其检查方法，包括底座、产品移栽机构、上料机构、下料机构、检测机构和自动变距轨道；在底座上表面沿从左至右依次设有上料机构、自动变距轨道和下料机构，且自动变距轨道的两端分别与上料机构以及下料机构对接连通；在自动变距轨道的前侧设有产品移栽机构，且在其后侧设有检测机构，检测机构的检测端朝自动变距轨道的工作轨道方向竖直向下设置；上料机构将基板送至自动变距轨道的进料端，通过产品移栽机构将基板水平横向移动至检测机构的检测范围内进行检测，检测完的基板由下料机构进行收集。本发明能够自动检查产品，检查时间短，测量数据精确，从而降低人力成本和时间成本，提高生产效率。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种MCQC AOI检查设备及其检查方法。

背景技术

在半导体封装生产过程中，装片和键合工序需要对设备做出来的产品进行外观检查，以确认产品是否符合作业标准，包括作业员的自检，MCQC的抽检。

现有的外观检查是检验员通过测量显微镜对整条框架上单个产品进行筛选检查，并计算出测量数据，与作业标准进行核对来判断产品的合格性。这种人工检查方式测量数据误差大，检查时间长，效率不高，还有一定的人为隐患存在。随着半导体的发展，产品越做越小，检查难度也越来高，这种人工手动检查的方式可操作性也越来越小。因此，以上问题亟需解决。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种MCQC AOI检查设备及其检查方法，能够自动检查装片、键合工序的不同大小和不同厚度的产品，检查时间短，测量数据精确，并可以自动保存数据和上传数据，从而大大降低了人力成本和时间成本，提高了生产效率。

为解决上述技术问题，本发明采取如下技术方案：本发明的一种MCQC AOI检查设备，其创新点在于：包括底座、产品移栽机构、上料机构、下料机构、检测机构和自动变距轨道；所述底座水平设置，且在其上表面沿其长度方向还从左至右依次水平设有上料机构、自动变距轨道和下料机构，所述自动变距轨道的两端分别与所述上料机构以及所述下料机构对接连通，且所述自动变距轨道的工作轨道水平横向朝上设置；在所述自动变距轨道的工作轨道前侧沿其长度方向还水平横向设有产品移栽机构，所述产品移栽机构的移动端水平设置在所述自动变距轨道的工作轨道正上方，并沿其长度方向做水平横向往复运动；在所述自动变距轨道的工作轨道后侧还水平设有检测机构，所述检测机构的固定端固定设置在所述底座的上表面，且其检测端朝所述自动变距轨道的工作轨道中间位置方向竖直向下设置；所述上料机构将基板送至自动变距轨道的工作轨道进料端，通过产品移栽机构将基板水平横向移动至检测机构的检测范围内进行检测，检测完的基板由下料机构进行收集。

优选的，还包括二维码读取器和上位机；所述二维码读取器固定设置在所述底座的上表面，且设于靠所述上料机构一侧，所述二维码读取器与所述上位机电性连接，并通过二维码读取器扫描随工单来调取运行程序和数据；所述上位机固定设置在所述底座的上表面，且设于靠所述下料机构一侧，并分别与所述上料机构、自动变距轨道、产品移栽机构、检测机构以及下料机构电性连接。