[发明专利]双面机高精度气液联动驱动系统

说明书

一种双面机高精度气液联动驱动系统，用于驱动双面机，所述双面机具有底座支架、固定设置于底座支架上的下盘、活动地位于下盘上方的上盘；所述双面机高精度气液联动驱动系统包括综合驱动装置及与综合驱动装置连接的气液联动缸；气液联动缸的底部活动地设置有输出杆，输出杆的末端与上盘固定连接，气液联动缸的内部滑动地设置有活塞件，输出杆的顶部与活塞件的中部固定连接。如此将气压控制与液压控制结合起来，分阶段实现快速下降、缓速下降、缓速上升及快速上升、同时兼顾了效率及稳定性。

技术领域

本发明涉及双面机控制技术领域，特别是一种双面机高精度气液联动驱动系统。

背景技术

双面机，用于半导体光学部件加工。双面机具有固定的下盘及活动地位于下盘上方的上盘。

现有的双面机的控制方式有两种，一种是气压控制，一种是液压控制。气缸的驱动速度较快，但稳定性较差。通过气缸带动上盘升降过程，当升降速度减慢到一定程度时，上盘会出现蠕动现象，甚至不动，着盘压力很难做到很小，对着盘力要求小的工件容易被压碎；在机器旋转运行，两盘之间闭环加减压控制时，压力波动大，加工出来的工件易碎，散差大。气缸使用寿命短。液压缸虽然更为稳定，在驱动上盘上升或下降时无法以较快的速度实现。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种将气压控制与液压控制结合起来，分阶段实现快速下降、缓速下降、缓速上升及快速上升、同时兼顾了效率及稳定性的双面机高精度气液联动驱动系统，以解决上述问题。

一种双面机高精度气液联动驱动系统，用于驱动双面机，所述双面机具有底座支架、固定设置于底座支架上的下盘、活动地位于下盘上方的上盘；所述双面机高精度气液联动驱动系统包括综合驱动装置及与综合驱动装置连接的气液联动缸；气液联动缸的底部活动地设置有输出杆，输出杆的末端与上盘固定连接，气液联动缸的内部滑动地设置有活塞件，输出杆的顶部与活塞件的中部固定连接。

进一步地，所述活塞件将气液联动缸的内部空间分隔为上部的气室及下部的液腔，气室的侧壁靠近顶部的位置开设有第一连接孔，液腔的侧壁靠近底部的位置开设有第二连接孔。

进一步地，所述综合驱动装置包括气源单元、精密调压阀、气液转换装置、电控比例阀、安全阀FA、第一调速阀FS1、第二调速阀FS2、节流阀FL、第一电磁阀YV1、第二电磁阀YV2、第三电磁阀YV3、第四电磁阀YV4、第五电磁阀YV5及精密过滤器GL；气源单元的输出端与安全阀FA的第一端连接，安全阀FA的第二端与精密调压阀的第一端、第三电磁阀YV3的第一端均连接；精密调压阀的第二端与第一电磁阀YV1的第一端连接，第一电磁阀YV1的第二端与第二电磁阀YV2的第一端连接，第二电磁阀YV2的第二端通过第一调速阀FS1与气液转换装置的气体端连接，气液转换装置的液体端通过节流阀FL与气液联动缸的第二连接孔连接；第三电磁阀YV3的第二端连接于第二电磁阀YV2与第一调速阀FS1之间的节点；安全阀FA的第二端还通过精密过滤器GL与电控比例阀的第一端连接，电控比例阀的第二端与第四电磁阀YV4的第一端连接，第四电磁阀YV4的第二端与第五电磁阀YV5的第三端连接，第五电磁阀YV5的第二端通过第二调速阀FS2与气液联动缸的第一连接孔连接。

进一步地，所述第一电磁阀YV1、第二电磁阀YV2、第三电磁阀YV3、第四电磁阀YV4、第五电磁阀YV5均具有第三端；第一电磁阀YV1的第三端与外部连通、第五电磁阀YV5的第一端与外部连通；第二电磁阀YV2、第三电磁阀YV3、第四电磁阀YV4的第三端封闭。

进一步地，所述第一电磁阀YV1、第二电磁阀YV2、第三电磁阀YV3、第四电磁阀YV4、第五电磁阀YV5均具有电控端，电控端用于控制第二端选择性地与第一端或第三端连通。

进一步地，所述气液联动缸靠近底部的位置设置有用于感应活塞件的下限位感应开关，气液联动缸靠近顶部的位置设置有用于感应活塞件的上限位感应开关。