[发明专利]激光扫描装置

权利要求书

1.一种激光扫描装置，其特征在于，所述激光扫描装置包括光平移元件、振镜扫描模块和聚焦镜；

所述光平移元件能够绕第一轴向旋转并用于将光束折射并平移，所述第一轴向为竖直方向；

所述振镜扫描模块包括相对设置的第一偏转镜和第二偏转镜，所述第一偏转镜能够绕第二轴向旋转并将接收到的光束反射至第二偏转镜，所述第二偏转镜能够绕第三轴向旋转并将接收到的光束进行反射；

聚焦镜用于将经光平移元件和振镜扫描模块折转后的光束聚焦。

2.根据权利要求1所述的激光扫描装置，其特征在于，所述激光扫描装置还包括第一分光平板、与所述第一分光平板相对的第一检测光反射镜、与所述第一检测光反射镜相对的第一镜头模块及与所述第一镜头模块相对的第一图像探测器；所述第一分光平板位于所述光平移元件的出光路径上，用于透射激光光束以及接收并反射来自加工工件或加工孔处反射的光束，第一检测光反射镜用于将该反射光束反射至第一镜头模块，所述第一镜头模块用于对该反射光束进行聚焦；所述第一图像探测器用于成像。

3.根据权利要求2所述的激光扫描装置，其特征在于，所述激光扫描装置还包括第二分光平板、与所述第二分光平板相对的第二检测光反射镜、与所述第二检测光反射镜相对的第二镜头模块及与所述第二镜头模块相对的第二图像探测器，所述第二分光平板位于所述第二偏转镜的出光路径上，用于将所述第二偏转镜出设的光束分出一束检测光，第二检测光反射镜用于将该检测光束反射至第二镜头模块，所述第二镜头模块用于对该检测光束进行聚焦，所述第二图像探测器用于成像。

4.根据权利要求1所述的激光扫描装置，其特征在于，初始状态下，所述第一偏转镜与水平方向的夹角为50°～85°，所述第二偏转镜与水平方向的夹角为5°～40°，第一偏转镜、第二偏转镜与水平方向的夹角差值为45°且第一偏转镜与第二偏转镜的夹角为45°，所述第二轴向垂直于所述第一轴向，所述第三轴向与垂直于第一轴向和第二轴向的方向呈22.5°夹角，所述振镜扫描模块的起始矢量方向与光平移元件的起始矢量方向相同且二者同步运动。

5.根据权利要求4所述的激光扫描装置，其特征在于，初始状态下，所述第一偏转镜与水平方向的夹角为67.5°，所述第二偏转镜与水平方向的夹角为22.5°。

6.根据权利要求1所述的激光扫描装置，其特征在于，初始状态下，所述第一偏转镜与水平方向的夹角为30°～60°，所述第二偏转镜与水平方向的夹角为30°～60°，所述第一偏转镜与第二偏转镜相互平行，所述第二轴向与所述第三轴向垂直且均位于水平方向上，所述振镜扫描模块的起始矢量方向与光平移元件的起始矢量方向相反且二者同步运动。

7.根据权利要求1所述的激光扫描装置，其特征在于，初始状态下，所述第一偏转镜与水平方向的夹角为45°，所述第二偏转镜与水平方向的夹角为45°。

8.根据权利要求1所述的激光扫描装置，其特征在于，激光光束依次经过光平移元件和振镜扫描模块后到达聚焦镜，所述激光扫描装置还包括反射镜，所述反射镜位于光平移元件和振镜扫描模块之间，用于将自光平移元件出射的光束反射至第一偏转镜。

9.根据权利要求1所述的激光扫描装置，其特征在于，所述振镜扫描模块及其后光学系统作为整体绕位于水平方向上的任一转轴旋转±90°用于进行斜面加工。

10.根据权利要求1所述的激光扫描装置，其特征在于，所述激光扫描装置还包括第一驱动装置，所述第一驱动装置用于驱动所述光平移元件绕第一轴向旋转。