[发明专利]工件固持加热设备在审
| 申请号： | 202011109040.1 | 申请日： | 2016-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN112234000A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 孙大伟;D·杰弗里·里斯查尔;史蒂芬·M·恩尔拉;岱尔·K·史东;留德米拉·史东 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 加热 设备 | ||
1.一种工件固持加热设备，其特征在于，包括：
压板，其中所述压板包括顶表面、底表面以及在所述顶表面与所述底表面之间延伸的侧壁；
主要加热元件，其安置在第一平面中且安置在所述压板中或贴附到所述压板的底表面上；以及
第一边缘加热器，其嵌入于所述压板中且安置在第二平面中，其中所述第二平面比所述第一平面更靠近所述顶表面。
2.根据权利要求1所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述第一平面、所述第二平面与所述顶表面相互平行。
3.根据权利要求1所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述主要加热元件贴附到所述压板的所述底表面。
4.根据权利要求1所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述主要加热元件嵌入于所述压板中。
5.根据权利要求1所述的工件固持加热设备，还包括安置在与所述第一平面以及所述第二平面不同的第三平面中的第二边缘加热器，其中所述顶表面、所述第一平面、所述第二平面与所述第三平面都为平行。
6.根据权利要求1所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述主要加热元件以及所述第一边缘加热器经独立地控制。
7.根据权利要求1所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述第一边缘加热器形成为具有外径的环圈，且其中所述压板包括锥形侧壁，所述压板的所述底表面的第一直径小于所述顶表面的第二直径，且其中所述第一边缘加热器的所述外径大于所述第一直径。
8.根据权利要求1所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述压板包括陶瓷材料。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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