[发明专利]一种聚天冬氨酸缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种聚天冬氨酸缓蚀剂，其特征在于，具有如下式(I)结构：

式中，R为碳链数为C₆～C₁₈的烷烃；x:y:z＝20％～30％:20％～30％:40％～60％。

2.一种聚天冬氨酸缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

聚琥珀酰亚胺溶解于溶剂中，搅拌加热至50～60℃，加入烷胺化合物和2-氨基咪唑，保温反应18～24h后加入NaOH，调节pH为8～10，继续搅拌6～10h，得到红棕色液体，冷却至室温后将反应液倒入丙酮中，得到的沉淀物用丙酮冲洗后放在80℃真空烘箱中干燥12h，得到棕黄色固体，为目标产物。

3.根据权利要求2所述的一种聚天冬氨酸缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述的聚琥珀酰亚胺数均分子量为7000～12000。

4.根据权利要求2所述的一种聚天冬氨酸缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述的碱可以是叔丁醇及其盐、双(三甲硅基)氨基钠。

5.根据权利要求2所述的一种聚天冬氨酸缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述的溶剂可以是N,N-二甲基甲酰胺、去离子水、二氯甲烷。

6.根据权利要求2所述的一种聚天冬氨酸缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述的烷胺化合物为C₆～C₁₈的烷烃，可以是油胺、正己胺、正十八胺。

7.根据权利要求2所述的一种聚天冬氨酸缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述的聚琥珀酰亚胺、烷胺化合物、2-氨基咪唑的投料摩尔比例为1:14～36:14～36。