[发明专利]一种基于激光干涉法的斜齿轮齿面形貌测量光路及方法

权利要求书

1.一种基于激光干涉法的斜齿轮齿面形貌测量光路，其特征在于，包括在水平方向依次排布的反光镜a(1)、半反半透镜(2)、成像透镜(3)和CCD相机(4)，所述半反半透镜(2)正下方依次放置有光楔a(7)、光楔b(9)、扩束镜b(17)和分光棱镜b(14)，所述分光棱镜b(14)的一侧设置有He-Ne激光器(15)；

所述反光镜a(1)正下方依次设置有扩束镜a(10)和分光棱镜a(13)，所述分光棱镜a(13)与分光棱镜b(14)处于同一条直线上，且分光棱镜a(13)位于分光棱镜b(14)远离He-Ne激光器(15)的一侧，所述分光棱镜a(13)远离分光棱镜b(14)的一侧依次设置有1/4波片(16)、反射镜b(12)和压电陶瓷(11)。

2.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉法的斜齿轮齿面形貌测量光路，其特征在于，所述He-Ne激光器(15)的波长为632.8nm，分光棱镜a(13)和分光棱镜b(14)为偏振分光棱镜。

3.一种基于激光干涉法的斜齿轮齿面形貌测量光路测量方法，采用权利要求1或2所述的一种基于激光干涉法的斜齿轮齿面形貌测量光路，其特征在于，具体按一下步骤实施：

步骤1，首先安装测量光路，然后将斜齿轮(8)放置于光楔a(7)和光楔b(9)之间；

步骤2，调整光路；

步骤3，使斜齿轮(8)绕X轴旋转，在仿真程序里面进行齿轮齿面光路追迹计算，实现此齿轮的全域测量。

4.根据权利要求3所述的一种基于激光干涉法的斜齿轮齿面形貌测量光路测量方法，其特征在于，所述步骤2中调整光路保证物体光路和参照光路的共光路。

5.根据权利要求3所述的一种基于激光干涉法的斜齿轮齿面形貌测量光路测量方法，其特征在于，所述步骤3中，当齿轮模数为3，齿数为60，螺旋角和压力角均为20度，齿宽为15，螺旋方向为右旋时，在仿真程序里面对齿轮旋转2.85度时，可实现此齿轮的全域测量。