[发明专利]稀土类蓄冷材料粒子、使用了该粒子的冷冻机、超导磁铁、检查装置及低温泵

权利要求书

1.一种极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，其包括：在至少一个的蓄冷容器中填充由烧结体构成的稀土类蓄冷材料粒子的工序，

其中，所述稀土类蓄冷材料粒子由稀土类氧化物或稀土类氧硫化物形成，

所述稀土类蓄冷材料粒子的平均晶体粒径为0.5～5μm，气孔率为10～50体积％，气孔的平均直径为0.3～3μm，气孔的最大直径为4μm以下，

所述稀土类蓄冷材料粒子的每10μm×10μm单位面积的气孔的数目为20～70个，所述烧结体具有气孔相连的结构。

2.根据权利要求1所述的极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，所述稀土类蓄冷材料粒子由钆氧硫化物(Gd₂O₂S)或钆铝氧化物(GdAlO₃)形成。

3.一种极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，其包括：在至少一个的冷冻容器中填充由烧结体构成的稀土类蓄冷材料粒子的工序，

其中，所述稀土类蓄冷材料粒子由钆铝氧化物(GdAlO₃)形成，

所述稀土类蓄冷材料粒子的平均晶体粒径为0.5～5μm，气孔率为10～50体积％，气孔的平均直径为0.3～3μm，

所述稀土类蓄冷材料粒子的每10μm×10μm单位面积的气孔的数目为20～70个，所述烧结体具有气孔相连的结构。

4.根据权利要求3所述的极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，所述气孔的最大直径为4μm以下。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，制成具备多个所述稀土类蓄冷材料粒子的稀土类蓄冷材料粒子群，

所述稀土类蓄冷材料粒子群具备50质量％以上且100质量％以下的所述稀土类蓄冷材料粒子。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，极低温用冷冻机为GM型冷冻机。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，极低温用冷冻机为斯特林型冷冻机。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，极低温用冷冻机为脉冲型冷冻机。

9.根据权利要求1～4中任一项所述的极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，

在至少一个蓄冷容器内配置金属网，分成2个以上的填充层，

在至少一个填充层中填充稀土类蓄冷材料粒子群。

10.根据权利要求9所述的极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，所述金属网为Cu网。

11.根据权利要求9所述的极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，其进一步包括：配置Cu网作为所述金属网的工序。

12.根据权利要求9所述的极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，

将至少一个蓄冷容器内分成2个填充层，

在第一蓄冷材料粒子群中填充HoCu₂粒子群，在第二蓄冷材料粒子群中填充由稀土类氧化物或稀土类氧硫化物形成的稀土类蓄冷材料粒子群。

13.根据权利要求9所述的极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，将至少一个蓄冷容器内分成3个填充层，

填充铅蓄冷材料粒子群作为第一蓄冷材料粒子群，填充HoCu₂粒子群作为第二蓄冷材料粒子群，填充由稀土类氧化物或稀土类氧硫化物形成的稀土类蓄冷材料粒子群作为第三蓄冷材料粒子群。

14.根据权利要求1～4中任一项所述的极低温用冷冻机的制造方法，其特征在于，为了达成10K以下的极低温而使用极低温用冷冻机。