[发明专利]一种小孔重力式锡球阵列方法和工艺在审
申请号: | 202011116781.2 | 申请日: | 2020-10-19 |
公开(公告)号: | CN112289693A | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 叶昌隆;谢交锋;陈雨杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市立可自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 宫建华 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 小孔 重力 式锡球 阵列 方法 工艺 | ||
1.一种小孔重力式锡球阵列方法和工艺,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一、在可以倾斜翻转控制的操作平台(2)上设置锡球下球板(3),并在锡球下球板(3)的上方设置可以左右移动以及上下移动的取球上球板(4),在取球上球板(4)中以及锡球下球板(3)中加工阵列式杯状微型小孔,且取球上球板(4)的杯状微型小孔与锡球下球板(3)的杯状微型小孔相对应;
步骤二、在锡球下球板(3)的底部以及取球上球板(4)的顶部均安装真空腔支撑板(5),使真空腔支撑板(5)中的真空腔与锡球下球板(3)以及取球上球板(4)中的杯状微型小孔相通;
步骤三、在锡球下球板(3)的顶部设置可以左右滑动的锡球仓(6),且锡球仓(6)设置为无底仓,将锡球存储于锡球仓(6)内,并在锡球仓(6)的底部四壁设置刮刀(7);
步骤四、控制操作平台(2)向一侧倾斜,并控制锡球仓(6)向锡球下球板(3)顶部移动,从而在倾斜状态时,使锡球在重力及下球板球孔负压作用下使锡球进入到下球板(3)的杯状微型小孔中;
步骤五、锡球落入锡球下球板(3)中的杯状微型小孔后,锡球下球板(3)底部真空腔支撑板(5)持续真空操作,在杯状微型小孔中产生负压吸住锡球,防止锡球被甩出,并使所有锡球高度一致。
步骤六、控制操作平台(2)回到水平位置,使锡球仓(6)及其内部的刮刀(7)回归原点,将多余的锡球带走,完成布球动作;
步骤七、控制取球上球板(4)移动至锡球下球板(3)上,并使两者的杯状微型小孔对应,随后控制锡球下球板(3)底部真空腔支撑板(5)进行吹气,并利用振动装置(8)带动锡球下球板(3)高频振动,再开启取球上球板(4)顶部真空腔支撑板(5)进行真空抽气,在取球上球板(4)的杯状微型小孔中形成负压,将锡球全部吸入至取球上球板(4)的杯状微型小孔中,完成取球动作;
步骤八、控制取球上球板(4)移动至需要植球的BGA基板(9)上,控制取球上球板(4)顶部的真空腔支撑板(5)停止工作,即可完成植球过程。
2.根据权利要求1所述的一种小孔重力式锡球阵列方法和工艺,其特征在于:所述锡球下球板(3)设置为铜板以及取球上球板(4)设置为铜板或者石墨板,锡球下球板(3)以及取球上球板(4)中的杯状微型小孔均为精加工,且所有的杯状微型小孔深度一致。
3.根据权利要求1所述的一种小孔重力式锡球阵列方法和工艺,其特征在于:所述锡球下球板(3)与真空腔支撑板(5)之间以及取球上球板(4)与真空腔支撑板(5)之间均通过定位销定位,并通过螺栓组件进行固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种小孔重力式锡球阵列方法和工艺,其特征在于:所述杯状微型小孔上方设置为大孔,所述大孔下方为漏斗式小孔,且所述漏斗式小孔与真空腔支撑板(5)的真空腔相通。
5.根据权利要求1所述的一种小孔重力式锡球阵列方法和工艺,其特征在于:所述步骤八中振动装置(8)对动锡球下球板(3)的振动范围设置为0.05mm-0.20mm。
6.根据权利要求1所述的一种小孔重力式锡球阵列方法和工艺,其特征在于:所述锡球仓(6)的顶部设置有锡球盒(10),所述锡球盒(10)的容积大于锡球仓(6)的容积。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造