[发明专利]一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺

说明书

一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺。涉及一种半导体制造—湿法腐蚀工艺技术领域，尤其涉及一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺。提供了一种提高产品线条美观、降低产品过腐蚀导致报废的高风险的一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺。本发明中用NIAG腐蚀液取代AL腐蚀液：NIAG腐蚀液的腐蚀速率比AL腐蚀液慢，在保证了产品线条美观的同时也降低了产品过腐蚀导致报废的高风险。用NIAG腐蚀液取代AL腐蚀液的前提为保证NIAG腐蚀的过程中，金属层表面不存在NIO和NI是极易被氧化的金属，本案在第一次经过PBE腐蚀液后不过水槽，直接进行NIAG腐蚀就避免了NI被氧化的问题。本发明具有提高产品线条美观、降低产品过腐蚀导致报废的高风险等特点。

技术领域

本发明涉及一种半导体制造—湿法腐蚀工艺技术领域，尤其涉及一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺。

背景技术

TSBD（沟槽肖特基）产品，刻蚀SIN（氮化硅层）过程中划片道内氧化层受影响被轻微过刻蚀导致蒸发至晶片表面的金属划片道区域厚度不均匀。腐蚀的过程中金属NI极易被氧化形成了一层保护膜，阻碍了酸液对金属的腐蚀。残留的Ni形成NIO，较难去除。现需要摸索出一种有效的腐蚀工艺，解决金属残留的同时保证腐蚀后金属线条正常。

原金属腐蚀工艺流程为：

1	2	3	4	5	6	7
NiAg腐蚀液（350s）	第一次过水槽	PBE腐蚀液（20s）	第二次过水槽	EDTA腐蚀液（5s）	第三次过水槽	甩干

原腐蚀工艺流程残留异常比例较高（如图2所示，金属残留显微镜照片），套刻返工生产效率较低，成本较高且加腐AL局部大面积区域产生过腐蚀的风险较高。

发明内容

本发明针对以上问题，提供了一种提高产品线条美观、降低产品过腐蚀导致报废的高风险的一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺。

本发明的技术方案是：一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺，包括以下步骤：