[发明专利]采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台

权利要求书

1.一种采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台，其特征在于，包括顶部输出平台、Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座，其中，

所述Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座之间采用立体交叉的连接方式进行连接，使Y轴工作机构的中央固定基准孔能够直接固定连接在底层基座上，即平台底座的一部分跨过X轴工作机构，从而与Y轴工作机构的某一部位连接。

2.根据权利要求1所述的柔性定位平台，其特征在于，所述柔性定位平台采用的材料为A1-7075。

3.根据权利要求1所述的柔性定位平台，其特征在于，所述柔性定位平台的柔性结构包括Y轴工作机构和X轴工作机构，由金属线切割加工而成；结构设计时要保证Y轴工作机构和X轴工作机构中的板簧厚度以及柔性铰链缺口处厚度的尺寸不得小于0.2mm。

4.根据权利要求1所述的柔性定位平台，其特征在于，所述X轴工作机构和Y轴工作机构形状相同，放置方向互相垂直。

5.根据权利要求1所述的柔性定位平台，其特征在于，所述X轴工作机构或Y轴工作机构包括桥式放大器、压电陶瓷、导向结构和解耦机构，其中，所述桥式放大器与压电陶瓷直接接触，用于对输入位移进行放大后输出。

6.根据权利要求5所述的柔性定位平台，其特征在于，所述X轴工作机构或Y轴工作机构的导向结构部分包含八个板簧，设置于所述桥式放大器的两端，用于抑制不平衡的运动。

7.根据权利要求5所述的柔性定位平台，其特征在于，所述解耦结构设置在所述X轴工作机构或Y轴工作机构的最外圈的部分，用于将X轴方向位移运动和Y轴方向位移分离，使其互不干扰或干扰很小。

8.根据权利要求5所述的柔性定位平台，其特征在于，在所述桥式放大器上加工减重孔，在底层基座上加工一体化立柱穿过减重孔，用于为桥式放大器提供固定锚点。

9.一种采用如权利要求1-8任一项所述的柔性定位平台的原子力显微镜系统。