[发明专利]低沸点电子气体密闭取样系统及取样方法

权利要求书

1.一种低沸点电子气体密闭取样系统，包括取样瓶、吹扫置换系统和冷却系统；其特征在于，冷却系统包括冷却筒，冷却筒筒壁设有与外部管线连通的夹层，夹层中装有冷媒，外部管线上装有循环泵，冷却筒中装有取样瓶；

取样瓶包括瓶盖和瓶体，瓶盖两侧分别设有进气管和出气管，进气管和出气管上分别装有气管开关阀，进气管和出气管分别通过三通阀门与吹扫置换系统的主管路连接，两个三通阀门间通过管道连接；

取样瓶进气管的三通阀门外侧设有质量流量计；吹扫置换系统的主管路上装有气动阀和压力传感器，气动阀与压力传感器间的主管路上设有吹扫气检测系统，气动阀与质量流量计间的主管路上设有样品气引入系统和高纯气体吹扫系统，压力传感器右侧设有废气排出系统和真空系统；

高纯气体吹扫系统、样品气引入系统、吹扫气检测系统、废气排出系统和真空系统分别设有气动阀，高纯气体吹扫系统在气动阀前设有气体过滤器和气动微漏阀。

2.根据权利要求1所述的低沸点电子气体密闭取样系统，其特征在于，取样瓶内设有与进气管连通的进气支管，进气支管出口位于瓶体下部。

3.根据权利要求1所述的低沸点电子气体密闭取样系统，其特征在于，取样瓶瓶体为全氟烷氧基树脂材质。

4.根据权利要求1所述的低沸点电子气体密闭取样系统，其特征在于，冷媒为乙二醇冷冻液或液氮。

5.根据权利要求1所述的低沸点电子气体密闭取样系统，其特征在于，吹扫置换系统入口设有气体纯化器。

6.根据权利要求1所述的低沸点电子气体密闭取样系统，其特征在于，冷却筒为不锈钢材质，冷却筒一侧下部设有与夹层连通的进液管线，冷却筒另一侧上部设有与夹层连通的出液管线，进液管线上装有循环泵和进口阀，循环泵位于进口阀外侧，出液管线上装有出口阀。

7.根据权利要求1所述的低沸点电子气体密闭取样系统，其特征在于，高纯气体吹扫系统和样品气引入系统的进口端，吹扫气检测系统、废气排出系统和真空系统的出口端分别设有手动阀。

8.根据权利要求7所述的低沸点电子气体密闭取样系统，其特征在于，废气排出系统的手动阀出口端管道上装有单向阀。

9.根据权利要求7所述的低沸点电子气体密闭取样系统，其特征在于，气动阀和手动阀分别采用隔膜阀。