[发明专利]一种用于高世代基板玻璃在线无损厚度测量装置

说明书

本发明公开一种用于高世代基板玻璃在线无损厚度测量装置，包括设于玻璃传输辊上方的安装支架，安装支架垂直于玻璃板传输方向，沿安装支架间隔设有一组激光测厚仪，激光测厚仪的探头竖直向下设置；所述测量装置还包括相互通讯连接的激光测厚控制单元与上位机，各个激光测厚仪分别与激光测厚控制单元相连；玻璃板在玻璃传输辊传输时，激光测厚仪实时对玻璃板的厚度进行检测，并将检测结果反馈给上位机；该装置能够在线测量玻璃板在面研磨前和面研磨后的玻璃厚度，不影响玻璃表面质量，提高检测效率。

技术领域

本发明涉及玻璃基板检测设备技术领域，具体是一种用于高世代基板玻璃在线无损厚度测量装置。

背景技术

为去除浮法玻璃成型过程中在玻璃表面形成的缺陷，加工适用于TFT面板制作的超洁净表面基板玻璃。通常采用抛光机面研磨玻璃表面，为保证面研磨加工后玻璃表面高度一致性，大尺寸基板玻璃对磨削量的要求很严格。磨削量定义为研磨前厚度值减去研磨后厚度值，一般要求为整板玻璃的磨削量控制在中心值±0.5微米。精确测量大尺寸基板玻璃的磨削量对面研磨工艺控制至关重要。

现有检测磨削量手段为面研磨前在玻璃基板表面需要测量的位置做记号，面研磨前和面研磨后分别使用人工使用超声厚度测试仪测量相同点的玻璃厚度。存在以下不足：

一、基板玻璃很大，人工可以很方便测量玻璃边缘位置厚度，因玻璃中心点距离玻璃边缘大约1200mm。玻璃中间点测量非常困难。

二、人工测量玻璃表面时不可避免会接触玻璃表面，面研磨加工后的洁净表面使用超声厚度测量仪接触后会有轻微磨伤，影响玻璃表面洁净度，并最终降低产品良率。

三、人工测量玻璃厚度耗时费力，现有产线一次测量九个点大约需要30分钟，面研磨前和面研磨后各测量一次共计需要60分钟。如单个板面测量更多的点耗时会成比例增加。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于高世代基板玻璃在线无损厚度测量装置，该装置能够在线测量玻璃板在面研磨前和面研磨后的玻璃厚度，不影响玻璃表面质量，提高检测效率。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种用于高世代基板玻璃在线无损厚度测量装置，包括设于玻璃传输辊上方的安装支架，安装支架垂直于玻璃板传输方向，沿安装支架间隔设有一组激光测厚仪，激光测厚仪的探头竖直向下设置；所述测量装置还包括相互通讯连接的激光测厚控制单元与上位机，各个激光测厚仪分别与激光测厚控制单元相连；

玻璃板在玻璃传输辊传输时，激光测厚仪实时对玻璃板的厚度进行检测，并将检测结果反馈给上位机。

本发明的有益效果是，垂直于玻璃板传输方向设置一组激光测厚仪，在玻璃板在玻璃传输辊传输时，可以获得玻璃板上呈矩形矩阵分布的测量点厚度，控制激光测厚仪的测厚采样频率，可以改变矩形矩阵测量点之间的间距，从而方便地得到玻璃板板面上不同位置的厚度，极大地降低了测量难度，且为在线实时测量，准确性高，效率高，无需人工接触玻璃表面，不影响玻璃表面质量。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明使用时在玻璃板形成矩形矩阵测量点的示意图。

具体实施方式

如图1所示，本发明提供一种用于高世代基板玻璃在线无损厚度测量装置，包括设于玻璃传输辊1上方的安装支架2，安装支架2垂直于玻璃板7的传输方向，沿安装支架间隔设有一组激光测厚仪3，激光测厚仪的探头4竖直向下设置；本实施例共采用十二个激光测厚仪。

所述测量装置还包括相互通讯连接的激光测厚控制单元5与上位机6，各个激光测厚仪分别与激光测厚控制单元5相连。