[发明专利]一种用于铜互连线的Al2

权利要求书

1.一种用于铜互连线的Al₂O₃/ZrN双层扩散阻挡层制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1)、对基片进行清洗除杂预处理；

步骤2)、在清洗除杂预处理后的基片表面制备一层Al₂O₃过渡层；

步骤3)、利用反应磁控溅射方法在Al₂O₃过渡层表面沉积一层ZrN阻挡层。

2.根据权利要求1所述的一种用于铜互连线的Al₂O₃/ZrN双层扩散阻挡层制备方法，其特征在于，具体的，将基片依次置于丙酮和乙醇中进行超声清洗，然后在HF溶液浸泡去除基片表面的氧化层。

3.根据权利要求2所述的一种用于铜互连线的Al₂O₃/ZrN双层扩散阻挡层制备方法，其特征在于，丙酮溶液浓度大于99.9％；乙醇溶液浓度大于99.9％。

4.根据权利要求1所述的一种用于铜互连线的Al₂O₃/ZrN双层扩散阻挡层制备方法，其特征在于，采用原子层沉积方法、磁控溅射法或化学气相沉积在基片表面制备形成Al₂O₃过渡层。

5.根据权利要求4所述的一种用于铜互连线的Al₂O₃/ZrN双层扩散阻挡层制备方法，其特征在于，采用原子层沉积方法时，采用三甲基铝和水为前驱体，沉积温度为240-260℃，沉积时间为300～1600s。

6.根据权利要求1所述的一种用于铜互连线的Al₂O₃/ZrN双层扩散阻挡层制备方法，其特征在于，在真空惰性气体氛围下制备沉积ZrN阻挡层。

7.根据权利要求6所述的一种用于铜互连线的Al₂O₃/ZrN双层扩散阻挡层制备方法，其特征在于，惰性气体采用Ne气或Ar气。

8.根据权利要求7所述的一种用于铜互连线的Al₂O₃/ZrN双层扩散阻挡层制备方法，其特征在于，采用N₂，气体流量为20～30sccm，工作气压为0.5～1Pa。

9.一种由权利要求1所述方法制备的用于铜互连线的Al₂O₃/ZrN双层扩散阻挡层，其特征在于，包括基片以及沉积在基片上的Al₂O₃过渡层，Al₂O₃过渡层表面沉积有ZrN阻挡层。

10.根据权利要求9所述的用于铜互连线的Al₂O₃/ZrN双层扩散阻挡层，其特征在于，所述Al₂O₃过渡层的厚度为1-10nm，所述ZrN阻挡层的厚度为5-15nm。