[发明专利]硬质抗反射涂层及其制造和用途

权利要求书

1.一种包括抗反射涂层的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中所述抗反射涂层被设计为包括至少两个低折射率层和至少一个高折射率层的光学干涉涂层，其中所述高折射率层是透明的硬质材料层，并且所述硬质材料层包括具有呈现主要(001)择优取向的六角形晶体结构的结晶氮化铝；并且其中所述低折射率层包括SiO₂；并且其中所述高折射率层设置在所述低折射率层之间。

2.根据权利要求1所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中，所述低折射率层包括掺杂的SiO₂。

3.根据权利要求2所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中Al作为掺杂物。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中至少一个低折射率层掺杂有选自硅、硼、锆、钛、镍、铬或碳元素组的一种或多种氧化物、氮化物、碳化物和/或氮碳化物。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中所述至少一个低折射率层包括N₂。

6.根据前述权利要求1至3中任一项所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中，所述低折射率层在550nm波长处的折射率在1.3至1.6的范围内，并且其中所述高折射率层在550nm波长处的折射率在1.8至2.3的范围内。

7.根据权利要求6所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中所述低折射率层在550nm波长处的折射率在1.45至1.5的范围内。

8.根据权利要求6所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中所述高折射率层在550nm波长处的折射率在1.95至2.1的范围内。

9.根据前述权利要求1至3中任一项所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中，呈现(001)优先取向的晶体结构的通过XRD测量所测定的份额x₍₀₀₁₎和y₍₀₀₁₎：

x₍₀₀₁₎＝I₍₀₀₁₎/(I₍₀₀₁₎+I₍₁₀₀₎)

和y₍₀₀₁₎＝I₍₀₀₁₎/(I₍₀₀₁₎+I₍₁₀₁₎)

大于0.5。

10.根据权利要求9所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中x₍₀₀₁₎和y₍₀₀₁₎大于0.6。

11.根据权利要求10所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中x₍₀₀₁₎和y₍₀₀₁₎大于0.75。

12.根据前述权利要求1至3中任一项所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中，所述高折射率层在10mN的测试负载下的弹性模量为80至250GPa。

13.根据权利要求12所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，所述高折射率层在10mN的测试负载下的弹性模量为110至200Gpa。

14.根据权利要求12所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中，硬度和所述弹性模量的比值为至少0.08。

15.根据权利要求14所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中，硬度和所述弹性模量的比值为至少0.1。

16.根据权利要求15所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中，硬度和所述弹性模量的比值为大于0.1。

17.根据前述权利要求1至3中任一项所述的涂覆蓝宝石玻璃衬底，其中，所述硬质材料层的总层厚为最高600nm。