[发明专利]一种显微镜物镜

说明书

本发明公开了一种显微镜物镜，包括正折射力第一透镜组、正折射力第二透镜组和负折射力第三透镜组，所述正折射力第二透镜组设于正折射力第一透镜组和负折射力第三透镜组之间；所述正折射力第一透镜组包括正折射力第一透镜和正折射力第二透镜，所述正折射力第二透镜设于正折射力第一透镜上，所述正折射力第一透镜为凹面朝向物体侧的正屈光力的弯月形设置。本发明属于光学技术领域，具体是一种显微镜物镜，能够保证具备大放大倍率、长工作距离、大数值孔径、高分辨率性能、较少镜片数目且加工简单的特点，以解决大放大倍率、长工作距离下，小数值孔径、低分辨率性能、镜片数目多且加工困难的问题。

技术领域

本发明属于光学技术领域，具体是指一种显微镜物镜。

背景技术

随着近年来半导体行业的高速发展，对其表面粗糙度的要求精度越来越高。通过提高显微镜的探测精度从而达到观测要求。一般而言，由于用于工业探测需要长的工作距离，要使显微镜上观察到跟多细节，需要大放大倍率、大数值孔径。对于这样的显微镜物镜，轴上像差和倍率色差的补正是很难的，由于像差的影响会导致光学的分辨率性能下降。

专利文献CN101999090A公开了一种显微物镜：具有大放大倍率、长的工作距离的物镜，但是小数值孔径、低分辨率性能、镜片数目多且加工困难。

专利文献CN102959450A公开了一种显微物镜：具有大放大倍率、大数值孔径的物镜，但是工作距离较短，不方便实际使用和观察。

专利文献CN111158129A公开了一种显微物镜：虽然有很大的数值孔径，但是工作距离较短，不方便实际的使用和观察，并且放大倍率低，随着半导体行业制作越来越精细，观察的所需的物镜放大倍率也要更大。

发明内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提供一种显微镜物镜，能够保证具备大放大倍率、长工作距离、大数值孔径、高分辨率性能、较少镜片数目且加工简单的特点，以解决大放大倍率、长工作距离下，小数值孔径、低分辨率性能、镜片数目多且加工困难的问题。

本发明采取的技术方案如下：本发明一种显微镜物镜，包括正折射力第一透镜组、正折射力第二透镜组和负折射力第三透镜组，所述正折射力第二透镜组设于正折射力第一透镜组和负折射力第三透镜组之间；所述正折射力第一透镜组包括正折射力第一透镜和正折射力第二透镜，所述正折射力第二透镜设于正折射力第一透镜上，所述正折射力第一透镜为凹面朝向物体侧的正屈光力的弯月形设置。

进一步地，所述正折射力第二透镜组包括第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜，所述第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜依次设置。

进一步地，所述负折射力第三透镜组包括第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜和第十四透镜，所述第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜和第十四透镜依次设置。

进一步地，所述正折射力第一透镜组、正折射力第二透镜组和负折射力第三透镜组满足的条件为0.4|f/NA/D0|0.6，其中，f为该显微镜物镜的焦点距离；NA为该显微镜物镜的物方数值孔径；D0为从物体面到所述显微镜物镜最靠近物体的透镜面的光轴上的距离。

进一步地，所述第二透镜具有正屈光力，所述第三透镜具有正屈光力，所述第四透镜具有正屈光力，所述第五透镜具有负屈光力，所述第六透镜具有正屈光力，所述第七透镜具有正屈光力或负屈光力，所述第八透镜具有正屈光力或负屈光力，所述第九透镜具有正屈光力，所述第十透镜具有负屈光力，所述第十一透镜具有正屈光力，所述第十二透镜具有负屈光力，所述第十三透镜具有负屈光力，所述第十四透镜具有正屈光力。

进一步地，所述正折射力第一透镜组和正折射力第二透镜组满足的条件为0.03f1/f20.95；-1.5f1/f3-0.05；3f1/f6.5，其中，f1为第一透镜的焦点距离，f2为第二透镜的焦点距离，f3为第三透镜的焦点距离，f为该显微镜物镜的焦点距离。