[发明专利]适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂、制绒液及应用

权利要求书

1.一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：由如下质量百分比含量的组分组成：主成核剂0.5～10%，补充成核剂0.2~5%，支化分散剂0.01～0.1%，脱泡剂0.05～0.5%，余量为水。

2.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述主成核剂为水解聚丙烯腈钠盐，所述补充成核剂为聚氨基酸。

3.根据权利要求2所述的一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述聚氨基酸选自聚谷氨酸、聚天冬氨酸、聚赖氨酸、聚二氨基丁酸和聚二氨基丙酸中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述支化分散剂为支化聚乙烯亚胺。

5.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述脱泡剂选自十二烷基三甲基氯化铵、十六烷基三甲基氯化铵、十八烷基三甲基氯化铵中的一种或多种。

6.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述水为去离子水。

7.一种单晶制绒用制绒液，其特征在于：包括权利要求1-6中任一项所述的制绒添加剂和碱溶液，所述制绒添加剂和碱溶液的质量比为0.25～2.5:100，所述碱溶液为无机碱的水溶液。

8.根据权利要求7所述的单晶制绒用制绒液，其特征在于：所述碱溶液为1～3wt%的氢氧化钠或氢氧化钾水溶液。

9.一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂的应用，其特征在于，所述制绒添加剂应用于大尺寸单晶硅片的制绒，具体包括以下步骤：

（1）将质量百分含量为0.5～10%的主成核剂，0.2~5%的补充成核剂，0.01～0.1%的支化分散剂，0.05～0.5%的脱泡剂加入到余量的水中，混合均匀配成制绒添加剂；

（2）将步骤（1）制成的制绒添加剂按比例加入到碱溶液中，混合均匀配成制绒液；其中制绒添加剂与碱溶液的质量比为0.25～2.5:100，碱溶液为无机碱的水溶液；

（3）将大尺寸单晶硅片浸入步骤（2）制得的制绒液中进行表面制绒，得制绒后硅片。

10.根据权利要求9所述的制绒添加剂的应用，其特征在于：

步骤（1）中，所述主成核剂为水解聚丙烯腈钠盐，所述补充成核剂为聚氨基酸；所述支化分散剂为支化聚乙烯亚胺；所述脱泡剂选自十二烷基三甲基氯化铵、十六烷基三甲基氯化铵、十八烷基三甲基氯化铵中的一种或多种；所述水为去离子水；

步骤（2）中，所述碱溶液为1～3wt%的氢氧化钠或氢氧化钾水溶液；

步骤（3）中，所述表面制绒的温度为75～85℃，时间为5～8min。