[发明专利]多晶硅生产场景的模拟仿真方法、装置、系统及设备

权利要求书

1.一种多晶硅生产场景的模拟仿真方法，其特征在于，包括：

调用预设模型搭建多晶硅生产场景对应的模拟仿真场景，其中，所述预设模型至少包括生产厂房模型、操作设备模型和多晶硅模型；

采集目标用户在所述模拟仿真场景中与所述预设模型的交互动作对应的第一参数；

将所述交互动作对应的第一参数与预设标准动作对应的第二参数进行比对，判断所述目标用户的交互动作是否符合生产标准；

根据判断结果输出模拟仿真结果。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多晶硅生产场景包括硅棒的生产场景，所述生产厂房模型包括还原厂房模型和还原炉模型，所述操作设备模型包括机械臂模型，所述多晶硅模型包括硅棒模拟生产工艺模型；

所述调用预设模型搭建多晶硅生产场景对应的模拟仿真场景的步骤，包括：

调用所述还原厂房模型搭建模拟仿真厂房；

调用所述还原炉模型和所述机械臂模型分别在所述模拟仿真厂房内搭建模拟仿真还原炉和模拟仿真机械臂；

调用所述硅棒模拟生产工艺模型在所述模拟仿真还原炉上搭建硅棒生长模型。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述采集目标用户在所述模拟仿真场景中与所述预设模型的交互动作对应的第一参数的步骤，包括：

采集所述目标用户在所述模拟仿真场景中操作所述机械臂模型拆装硅棒的动作参数和每个动作对应的时间节点；

所述将所述交互动作对应的第一参数与预设标准动作对应的第二参数进行比对，判断所述目标用户的交互动作是否符合生产标准的步骤，包括：

将每个动作对应的动作参数及时间节点与每个预设标准动作的动作参数及时间节点比对，判断动作参数差值和时间节点差值是否在预设差值范围内；

若动作参数差值和时间节点差值均在预设差值范围内，则判定所述目标用户的交互动作符合生产标准；

若动作参数差值或者时间节点差值不在预设差值范围内，则判定所述目标用户的交互动作不符合生产标准。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述若动作参数差值或者时间节点差值不在预设差值范围内，则判定所述目标用户的交互动作不符合生产标准的步骤之后，所述方法还包括：

输出错误提示信息以及引导信息，以引导所述目标用户完成交互动作，其中，所述错误提示信息和引导信息包括语音信息和/或图像信息。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的方法，其特征在于，所述调用所述硅棒模拟生产工艺模型在所述模拟仿真还原炉上搭建硅棒生长模型的步骤，包括：

利用有限元分析法和流体动力学联合仿真技术，模拟硅棒从装炉到成熟的整个生长周期。

6.一种多晶硅生产场景的模拟仿真装置，其特征在于，包括：

场景搭建模块，用于调用预设模型搭建多晶硅生产场景对应的模拟仿真场景，其中，所述预设模型至少包括生产厂房模型、操作设备模型、多晶硅模型；

参数采集模块，用于采集目标用户在所述模拟仿真场景中与所述预设模型的交互动作对应的第一参数；

参数比对模块，用于将所述交互动作对应的第一参数与预设标准动作对应的第二参数进行比对，判断所述目标用户的交互动作是否符合生产标准。

7.一种多晶硅生产场景的模拟仿真系统，其特征在于，包括：

存储设备，所述存储设备存储有预设模型和预设标准动作对应的第二参数，所述预设模型至少包括生产厂房模型、操作设备模型和多晶硅模型；

处理设备和模拟仿真交互设备，所述处理设备与所述模拟仿真交互设备连接，所述处理设备用于调用所述预设模型，并控制所述模拟仿真交互设备显示多晶硅生产场景对应的模拟仿真场景；

动作采集器，所述动作采集器与所述处理设备连接，所述动作采集器用于采集目标用户在所述模拟仿真场景中与所述预设模型的交互动作对应的第一参数，并将所述第一参数发送至所述处理设备；

所述处理设备还用于将所述交互动作对应的第一参数与预设标准动作对应的第二参数进行比对，判断所述目标用户的交互动作是否符合生产标准，并根据判断结果输出模拟仿真结果。