[发明专利]一种靶材组件及其加工方法

权利要求书

1.一种靶材组件的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：

(1)结合靶材与背板，得到第一靶材组件；

(2)机加工步骤(1)所得第一靶材组件，得到第二靶材组件；

(3)对步骤(2)所得第二靶材组件的靶材与背板连接处进行防脱落处理，得到靶材组件；

步骤(3)所述防脱落处理包括滚花、喷砂与熔射。

2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述结合的方式为先将靶材进行热塑性变形，再将所述靶材与背板相结合。

3.根据权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述机加工的方式包括切削、磨平或抛光中的任意一种或至少两种的组合。

4.根据权利要求1-3任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述滚花的区域为背板上滚花线与靶材组件连接线之间的区域；所述靶材组件连接线为所述靶材与背板连接处的交界线；所述滚花线上的任一点与所述靶材组件连接线的距离为10-20mm。

5.根据权利要求1-4任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述滚花的花纹密度为20-60TPI；

优选地，步骤(3)所述滚花的花纹深度为100-200μm。

6.根据权利要求1-5任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述滚花的花纹图案包括三角形、菱形、正方形、圆形、折线形或波浪形中的任意一种或至少两种的组合。

7.根据权利要求1-6任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述喷砂的区域为靶材侧面喷砂线与靶材组件连接线之间的区域；所述靶材组件连接线为所述靶材与背板连接处的交界线；所述喷砂线上的任一点与所述靶材组件连接线的距离为5-10mm；

优选地，步骤(3)所述熔射的区域在所述喷砂的区域范围内，且熔射的区域占据喷砂的区域比例为50-90％。

8.根据权利要求1-7任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述喷砂与熔射的顺序为先喷砂后熔射；

优选地，步骤(3)所述喷砂的表面粗糙度为5-10μm；

优选地，步骤(3)所述熔射的表面粗糙度为12-25μm。

9.根据权利要求1-8任一项所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：

(1)先将靶材进行热塑性变形，再将所述靶材与背板相结合，得到第一靶材组件；

(2)机加工步骤(1)所得第一靶材组件，得到第二靶材组件；所述机加工的方式包括切削、磨平或抛光中的任意一种或至少两种的组合；

(3)对步骤(2)所得第二靶材组件的靶材与背板连接处进行滚花、喷砂与熔射处理，得到靶材组件；所述滚花的区域为背板上滚花线与靶材组件连接线之间的区域，所述靶材组件连接线为所述靶材与背板连接处的交界线，所述滚花线上的任一点与所述靶材组件连接线的距离为10-20mm，所述滚花的花纹密度为20-60TPI，花纹深度为100-200μm，花纹图案包括三角形、菱形、正方形、圆形、折线形或波浪形中的任意一种或至少两种的组合；所述喷砂的区域为靶材侧面喷砂线与靶材组件连接线之间的区域，所述靶材组件连接线为所述靶材与背板连接处的交界线，所述喷砂线上的任一点与所述靶材组件连接线的距离为5-10mm，所述熔射的区域在所述喷砂的区域范围内，且熔射的区域占据喷砂的区域比例为50-90％，所述喷砂与熔射的顺序为先喷砂后熔射，且喷砂的表面粗糙度为5-10μm，熔射的表面粗糙度为12-25μm。

10.一种如权利要求1-9任一项所述的加工方法制备得到的靶材组件。