[发明专利]掩膜板的制备方法及掩膜板

权利要求书

1.一种掩膜板的制备方法，其特征在于，包括：

固定支撑条，在具有开口的框式框架上固定多个所述支撑条，以使多个所述支撑条沿第一方向X延伸且在第二方向Y上相互间隔并排排列，所述框式框架包括在所述第一方向X上相对的左边框和右边框，以及在所述第二方向Y上相对的上边框和下边框；

设置第一掩膜条，提供第一组遮挡条和多条第一掩膜条连接于所述上边框和下边框设置，并通过所述第一组遮挡条保持所述第一掩膜条不产生变形；

设置第二掩膜条，提供第二组遮挡条及多条第二掩膜条进行张网对位连接于所述上边框和所述下边框，通过所述第二组遮挡条向所述上边框和下边框提供相互靠拢的拉力，至少使部分所述第一掩膜条沿远离所述框式框架在所述第一方向X上的中心线的方向变形；使得自中心部位向所述左边框并列分布的所述第一掩膜条由所述中心线向所述左边框方向外凸变形，且越靠近所述左边框的所述第一掩膜条的外凸变形量越大，使得自所述中心部位向所述右边框并列分布的所述第一掩膜条由所述中心线向所述右边框方向外凸变形，且越靠近所述右边框的所述第一掩膜条的外凸变形量越大；

所述设置第一掩膜条的步骤中，将所述开口沿所述第一方向X划分为第一区域和第二区域，至少部分的所述第一区域与所述左边框和所述右边框相邻分布，所述第一组遮挡条和多条所述第一掩膜条位于所述第一区域，所述第二组遮挡条和多条所述第二掩膜条位于所述第二区域；

所述第一区域和所述第二区域在所述第一方向X上交替分布；

所述设置第一掩膜条的步骤中，至少一个所述第二区域位于所述开口在所述第一方向X上的中心部位，其他所述第二区域于所述中心部位两侧对称分布。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述设置第二掩膜条的步骤中，

先设置位于所述中心部位的所述第二区域的所述第二组遮挡条以及所述多条第二掩膜条；

再依次对从所述中心部位向所述左边框以及向所述右边框分布的所述第二区域设置所述第二组遮挡条以及多条所述第二掩膜条。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一区域于所述中心部位两侧对称且与所述第二区域交替分布。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述设置第一掩膜条的步骤包括：

将所述第一组遮挡条沿所述第二方向Y进行张网对位连接于所述上边框和下边框，且使得所述第一组遮挡条中的相邻两个所述遮挡条在所述第一方向X上间隙分布；

在所述间隙处张网对位设置所述第一掩膜条。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述设置第二掩膜条的步骤包括：

将所述第二组遮挡条沿所述第二方向Y进行张网对位连接于所述上边框和下边框，且使得所述第二组遮挡条中的相邻两个所述遮挡条在所述第一方向X上间隙分布，所述第二组遮挡条设置于所述上边框和下边框时提供相互靠拢的拉力使所述上边框和下边框沿所述第二方向Y发生相对变形；

在所述间隙处张网对位设置所述第二掩膜条。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：

所述设置第二掩膜条的步骤还包括：

根据所述掩膜板在蒸镀过程中的下垂量确定所述第二组遮挡条的数量。

7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：

所述设置第二掩膜条步骤还包括：

所述第二组遮挡条张网对位时，根据所述掩膜板在蒸镀过程中的下垂量确定沿所述第二方向Y对所述第二组遮挡条施加的拉力值。

8.一种掩膜板，其特征在于：所述掩膜板采用如权利要求1-7任一项所述的制备方法制备而成，所述掩膜板包括固定在所述框式框架上的多个所述支撑条、所述第一组遮挡条、多个所述第一掩膜条、所述第二组遮挡条以及多个第二掩膜条；

所述框式框架具有开口结构，所述框式框架包括在所述第一方向X上相对的左边框和右边框，以及在所述第二方向Y上相对的上边框和下边框；

所述上边框和下边框相对变形；

部分所述第一掩膜条沿远离所述框式框架在所述第一方向X上的中心线的方向变形。