[发明专利]一种基板夹紧装置及基板作业平台

说明书

本发明涉及半导体装备领域，公开一种基板夹紧装置及基板作业平台，该基板夹紧装置，包括：用于承载基板的承载台，承载台上设有滑槽组，滑槽组中的滑槽的延伸方向为第一方向或第二方向、且第一方向与第二方向垂直；与滑槽一一对应的定位机构，每一个定位机构包括：压电陶瓷定位轮和驱动组件；压电陶瓷定位轮形成大小可调夹持区域，夹持区域用于夹持基板，驱动组件用于驱动压电陶瓷定位轮可相对于承载台沿对应的滑槽的延伸方向滑动、且可相对于承载台的承载面升降，当处于调节工位时，压电陶瓷定位轮处于承载台顶部或底部；当处于定位工位时，压电陶瓷定位轮部分探出承载台的承载面；驱动组件用于驱动压电陶瓷定位轮相对于承载台动作。

技术领域

本发明涉及半导体装备技术领域，特别涉及一种基板夹紧装置及基板作业平台。

背景技术

现有半导体装备技术领域中的基板夹紧装置，只能对应一种尺寸的基板，随着半导体行业产业结构的调整，基板更新迭代的速度加快，因此需要生产不同尺寸的基板，这时基板夹紧装置就需要进行更新，但是更新装置时不仅价格昂贵，而且采购交货周期长，在造成巨大经济压力的同时，很大程度上影响了新产品的推出。

尤其在生产Micro LED基板时，其基板厚度较薄，对定位精度要求极高，因此在使用现有技术中的基板夹紧装置会对基板进行定位时，容易造成基板变形或破碎。

发明内容

本发明公开了一种基板夹紧装置及基板作业平台，用于在对不同尺寸的基板进行定位时不易造成基板变形或破碎。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

第一方面，本发明提供的一种基板夹紧装置，包括：

用于承载基板的承载台，所述承载台上设有滑槽组，所述滑槽组中的滑槽的延伸方向为第一方向或第二方向、且所述第一方向与所述第二方向垂直；

与所述滑槽一一对应的定位机构，每一个所述定位机构包括：压电陶瓷定位轮和驱动组件；

所述压电陶瓷定位轮形成大小可调夹持区域，所述夹持区域用于夹持基板，所述驱动组件用于驱动所述压电陶瓷定位轮可相对于所述承载台沿对应的滑槽的延伸方向滑动、且可相对于所述承载台的承载面升降，当处于调节工位时，所述压电陶瓷定位轮处于所述承载台顶部或底部；当处于定位工位时，所述压电陶瓷定位轮部分探出所述承载台的承载面；所述驱动组件用于驱动所述压电陶瓷定位轮相对于所述承载台动作。

在上述基板夹紧装置中，包括用于承载基板的承载台，此外在承载台上设有滑槽组，值得注意的是滑槽组中的滑槽的延伸方向为第一方向或第二方向、且第一方向与第二方向垂直；此外还有与滑槽一一对应的定位机构，每一个定位机构包括：压电陶瓷定位轮和驱动组件；驱动组件驱动压电陶瓷定位轮动作，从而使得压电陶瓷定位轮形成用于夹持基板的大小可调夹持区域；驱动组件用于驱动压电陶瓷定位轮可相对于承载台沿对应的滑槽的延伸方向滑动、且可相对于承载台的承载面升降，当处于调节工位时，压电陶瓷定位轮处于承载台顶部或底部；当处于定位工位时，压电陶瓷定位轮部分探出承载台的承载面；通过驱动组件驱动压电陶瓷定位轮动作进行的为粗调节，从而形成夹持区域，为避免压电陶瓷定位轮压碎基板，这里在通过驱动组件驱动压电陶瓷定位轮运动时，距离基板有一定距离，当压电陶瓷定位轮运动到粗定位位置后，之后通过改变压电陶瓷对位轮的电压，使压电陶瓷定位轮微动从而精准定位基板位置，这样既实现了对不同尺寸的基板进行，又有效的保护了基板不易被压碎。

优选地，所述滑槽组包括两个沿第一方向相对设置的滑槽；

还包括两个沿第二方向相对设置的滑槽。

优选地，所述驱动组件包括升降部和平移部，其中：

所述压电陶瓷定位轮安装于所述平移部，所述平移部安装于所述升降部背离所述承载台的一侧；或者，

所述压电陶瓷定位轮安装于所述升降部，所述升降部安装于所述平移部背离所述承载台的一侧。