[发明专利]一种可实现高精度不同浓度氮气制备系统

权利要求书

1.一种可实现高精度不同浓度氮气制备系统，包括气体缓存罐(2)、第一吸附塔(3)、第二吸附塔(4)、控制柜(7)、氮气缓存罐(10)、不合格排放区(12)、第一用气点(13)、第二用气点(14)、第三用气点(15)和第四用气点(16)，其特征在于：所述气体缓存罐(2)通过输气管线(8)分别与第一吸附塔(3)和第二吸附塔(4)气体连通，所述气体缓存罐(2)进气口连通有空气进气管线(1)，空气进气管线(1)上安装有第一控制阀，第一控制阀位于气体缓存罐(2)底部，所述第一吸附塔(3)和第二吸附塔(4)的出气端通过氮气输送管线(9)与氮气缓存罐(10)的进气端连接，所述氮气缓存罐(10)的出气端通过氮气出气管线(11)和用气管线(17)分别与不合格排放区(12)、第一用气点(13)、第二用气点(14)、第三用气点(15)和第四用气点(16)气体连通；

所述控制柜(7)通过电控线路(18)分别与空气进气管线(1)、输气管线(8)、氮气输送管线(9)、氮气出气管线(11)和用气管线(17)上的控制阀进行电控连接，所述氮气输送管线(9)上安装有第三控制阀A、第三控制阀B和第三控制阀C，所述第三控制阀A和第三控制阀B分别位于第一吸附塔(3)和第二吸附塔(4)的出气端，第三控制阀C位于氮气缓存罐(10)的进气端，所述输气管线(8)上安装有第二控制阀A、第二控制阀B和第二控制阀C，第二控制阀A位于气体缓存罐(2)出气端，第二控制阀B和第二控制阀C分别位于第一吸附塔(3)和第二吸附塔(4)进气端，所述控制柜(7)的内部安装有PLC控制系统，所述控制柜(7)的表面嵌入安装有显示屏(19)、按键A(5)、按键B(6)、按键C(20)、按键D(21)和总开关(22)；

按键A(5)、按键B(6)、按键C(20)和按键D(21)分别与第四控制阀C、第四控制阀D、第四控制阀E和第四控制阀F联控对应。

2.根据权利要求1所述的一种可实现高精度不同浓度氮气制备系统，其特征在于：所述氮气出气管线(11)和用气管线(17)对接，且在氮气出气管线(11)靠近用气管线(17)上安装有第四控制阀A，所述用气管线(17)上安装有第四控制阀B、第四控制阀C、第四控制阀D、第四控制阀E和第四控制阀F,所述第四控制阀B位于不合格排放区(12)处，第四控制阀C位于第一用气点(13)处，第四控制阀D位于第二用气点(14)处，第四控制阀E位于第三用气点(15)处，第四控制阀F位于第四用气点(16)处。

3.根据权利要求1所述的一种可实现高精度不同浓度氮气制备系统，其特征在于：所述按键A(5)、按键B(6)、按键C(20)和按键D(21)呈现矩形阵列分布，且呈现矩形阵列分布的按键A(5)、按键B(6)、按键C(20)和按键D(21)中间位置处有总开关(22)，矩形阵列分布的按键A(5)、按键B(6)、按键C(20)和按键D(21)上方设有显示屏(19)。

4.根据权利要求1所述的一种可实现高精度不同浓度氮气制备系统，其特征在于：所述第一用气点(13)、第二用气点(14)、第三用气点(15)和第四用气点(16)的氮气浓度分别为99％、99.5％、99.9％和99.99％。

5.根据权利要求1所述的一种可实现高精度不同浓度氮气制备系统，其特征在于：所述用气管线(17)上安装有流量计，且流量计与控制柜(7)电连接。