[发明专利]一种大尺寸金刚石散热片及其制备方法在审
| 申请号： | 202011150253.9 | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112469239A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 王成勇;胡小月;郑李娟;吴丹丹 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | H05K7/20 | 分类号： | H05K7/20;B24B1/00;B23K26/38;C23C16/56;C23C16/27 |
| 代理公司： | 广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438 | 代理人： | 卢浩 |
| 地址： | 510000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 金刚石 散热片 及其 制备 方法 | ||
1.一种大尺寸金刚石散热片的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
磨削抛光步骤：取CVD金刚石片进行磨削抛光；
飞秒激光切割步骤：采用飞秒激光对磨削抛光后的CVD金刚石片进行切割，切割后的CVD金刚石片的边缘直线度为0.1um、精度为0.5um以下，切割后的CVD金刚石片形状能够彼此配合连接成片；
拼接步骤：将切割后的CVD金刚石片拼接成片。
2.如权利要求1所述的大尺寸金刚石散热片的制备方法，其特征在于：磨削抛光后的CVD金刚石片的厚度为0.1～2.0mm。
3.如权利要求1所述的大尺寸金刚石散热片的制备方法，其特征在于：所述飞秒激光的加工参数为：激光功率1-20w、重复频率100-1000khz，光斑直径0.03-0.2mm、扫描速度400-2000mm/s、扫描次数5-100次，激光锥度0°-10°。
4.如权利要求1所述的大尺寸金刚石散热片的制备方法，其特征在于：切割后的CVD金刚石片呈多边形。
5.如权利要求1所述的大尺寸金刚石散热片的制备方法，其特征在于：所述拼接步骤采用烧结、钎焊、电镀的方式将CVD金刚石片以紧密接触的形式固定于基体上。
6.如权利要求5所述的大尺寸金刚石散热片的制备方法，其特征在于：所述基体为铝合金基体或者铜基体。
7.如权利要求1所述的大尺寸金刚石散热片的制备方法，其特征在于：所述拼接步骤为将每片切割后的CVD金刚石片边缘涂覆粘合剂使彼此粘合连接成片。
8.如权利要求1所述的大尺寸金刚石散热片的制备方法，其特征在于：所述粘合剂为环氧树脂粘合剂、酚醛树脂粘合剂。
9.如权利要求1所述的大尺寸金刚石散热片的制备方法，其特征在于：还包括后处理步骤，所述后处理步骤包括将拼接后的大片CVD金刚石片抛光，然后金属化处理。
10.一种大尺寸金刚石散热片，其特征在于：采用权利要求1至9任意一项所述的制备方法制成。
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