[发明专利]一种具有矫正功能的装片机中转台结构在审
| 申请号： | 202011151897.X | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112259480A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 戴泳雄;王敕 | 申请（专利权）人： | 苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 苏州瑞光知识产权代理事务所(普通合伙) 32359 | 代理人： | 罗磊 |
| 地址： | 215513 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 矫正 功能 装片机中 转台 结构 | ||
1.一种具有矫正功能的装片机中转台结构，其特征在于，包括机架上，所述机架上设置有第一拾取装置(1)、第二拾取装置(2)、中转台(3)和第一视觉检测设备(4)，所述第一拾取装置(1)包括第一摆臂(11)，所述第一摆臂(11)下方设置有芯片架放置盘(5)，所述芯片架放置盘(5)上设置有芯片架(51)，所述第二拾取装置(2)包括第二摆臂(21)，所述第二摆臂(21)下方设置有载盘(6)，所述载盘(6)上设置有芯片，所述第二摆臂(21)上设置有驱动吸盘转动的第一电机(7)，所述中转台(3)设置在所述第一拾取装置(1)和所述第二拾取装置(2)之间，所述中转台(3)一侧设置有所述第一视觉检测设备(4)。
2.根据权利要求1所述的一种具有矫正功能的装片机中转台结构，其特征在于，所述第一拾取装置(1)还包括第一升降电机(12)、第一旋转电机(13)和第二视觉检测设备(14)，所述第一摆臂(11)固定安装在所述第一旋转电机(13)的输出端，所述第二视觉检测设备(14)对应设置在所述芯片架放置盘(5)上方。
3.根据权利要求1所述的一种具有矫正功能的装片机中转台结构，其特征在于，所述第二拾取装置(2)还包括第二升降电机(22)、第二旋转电机(23)和第三视觉检测设备(24)，所述第二摆臂(21)固定安装在所述第二旋转电机(23)的输出端，所述第三视觉检测设备(24)对应设置在所述载盘(6)上方。
4.根据权利要求1所述的一种具有矫正功能的装片机中转台结构，其特征在于，所述中转台(3)上方设置有第四视觉检测设备(8)。
5.根据权利要求1所述的一种具有矫正功能的装片机中转台结构，其特征在于，所述第二视觉检测设备(14)、第三视觉检测设备(24)和第四视觉检测设备(7)可升降的安装在所述机架上。
6.根据权利要求1所述的一种具有矫正功能的装片机中转台结构，其特征在于，所述载盘(6)下方设置有第一XY机构(61)，所述第一XY机构(61)包括沿所述机架X轴方向布置的第一单轴驱动器(611)和沿所述机架Y轴方向布置的第二单轴驱动器(612)。
7.根据权利要求1所述的一种具有矫正功能的装片机中转台结构，其特征在于，所述芯片架放置盘(5)下方设置有第二XY机构。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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