[发明专利]一种适用于碲镉汞外延薄膜表面的抛光夹具

权利要求书

1.一种适用于碲镉汞外延薄膜表面的抛光夹具，其特征在于：

该抛光夹具为圆柱形，包括置片块和配重块；

所述置片块和配重块用螺纹连接，置片块上表面中心位置设置有片槽，该片槽利用设置的凹陷区域形成，用于放置抛光材料，置片块上表面的片槽四周设置有弧形槽；

所述置片块的凹陷区域为正四边形，正四边形的四条边中心位置和四个角设置弧形槽，该弧形槽开槽至置片块圆形边缘，弧形槽的向心弧的方向与材料抛光所受离心力方向一致；

所述弧形槽的槽深同置片块中心凹陷区域高度相同，其中一条弧形槽槽深大于置片块中心凹陷区域高度，该弧形槽即取片槽；

所述弧形槽的宽度与取片槽的宽度相同；

所述取片槽的长度延伸至置片块中心放置抛光材料的区域；

所述抛光夹具的径高比小于1；

所述置片块表面平整度不大于8µm，所述凹陷区域的平整度不大于10µm。

2.如权利要求1所述的抛光夹具，其特征在于：

所述凹陷区域平面尺寸稍大于抛光材料的平面尺寸，凹陷区域高度小于抛光材料厚度，高度差小于50µm。

3.如权利要求1所述的抛光夹具，其特征在于：

所述弧形槽共均匀设置8条。

4.如权利要求3所述的抛光夹具，其特征在于：

所述弧形槽的内弧和外弧的曲率半径分别不大于12mm和15mm。

5.如权利要求4所述的抛光夹具，其特征在于：

弧形槽的槽宽大于取片工具的宽度。

6.如权利要求1至5任一项所述的抛光夹具，其特征在于：

所述弧形槽方向为顺时针方向。

7.如权利要求6所述的抛光夹具，其特征在于：

所述置片块和配重块为圆柱形。

8.如权利要求6所述的抛光夹具，其特征在于：

所述置片块材质为聚四氟乙烯。

9.如权利要求6所述的抛光夹具，其特征在于：

所述配重块材质为不锈钢材质。