[发明专利]降低表面缺陷的垂直液相外延碲镉汞薄膜用石墨舟及用途

权利要求书

1.一种降低表面缺陷的垂直液相外延碲镉汞薄膜用石墨舟，其特征在于：

包括带有楔形槽的石墨舟主体、楔形衬底承载件及固定螺栓；在石墨舟主体的顶部设置有用于疏导其上层的母液的疏导伞，所述疏导伞边沿超出石墨舟主体承载衬底的表面，所述疏导伞让薄膜材料移出母液过程中，表面不接触过冷母液溶体，同时保证石墨舟上的残留母液不会滑落在薄膜表面；

所述石墨舟主体为一正多面体，其立面均设置有楔形槽，该楔形槽用于供楔形衬底承载件插入；

所述楔形衬底承载件包括CZT衬底、能够卯合的底层夹片和上层夹片及固定螺栓，所述CZT衬底装入底层夹片，用上层夹片卯合的底层夹片并固定CZT衬底，再通过固定螺栓锁紧已卯合的两层夹片，构成楔形衬底承载件。

2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：

所述底层夹片设置有带有内螺纹的螺孔，装入了CZT衬底的底层夹片及卯合后的上层夹片与所述螺孔对应位置均设置有通孔，固定螺栓通过该通孔将卯合的底层夹片和上层夹片紧固。

3.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：

所述石墨舟主体的楔形槽设置有带有内螺纹的螺孔，所述楔形衬底承载件在插入后的与所述螺孔对应位置设置有通孔，固定螺栓通过该通孔将楔形衬底承载件与楔形槽紧固。

4.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：

通过调整所述底层夹片和上层夹片的尺寸实现不同规格尺寸的碲锌镉衬底装入。

5.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：

所述正多面体为正方体。

6.一种如权利要求1至5任一项所述的降低表面缺陷的垂直液相外延碲镉汞薄膜用石墨舟的用途，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将外延级的CZT衬底装入底层夹片，用上层夹片固定衬底，使用固定螺栓锁紧两层夹片，构成楔形衬底承载结构，使用N₂吹扫衬底表面；

(2)将承载结构沿主体部分的楔形槽插入，确保主体结构上的内螺纹孔对准固定螺栓，旋紧螺栓，固定两层结构；

(3)将石墨舟整体沉入一定温度的母液，按既定的外延工艺生长；

(4)在外延结构材料生长完成后，将石墨舟提出母液；

(5)将螺栓旋出离开主体，沿楔形槽方向拔出衬底承载结构，转移至洁净间，依次旋出螺栓，取下夹片，完成生长过程。