[发明专利]一种片上微环光束接收器

权利要求书

1.一种片上微环光束接收器，其特征在于：其包括位于基底上的环形波导、直波导和纳米孔结构，所述直波导位于环形波导的外侧，并与环形波导耦合；所述纳米孔结构包括分布在环形波导内侧的多个纳米孔，所述纳米孔结构接收空间光束并耦合进环形波导；

在竖直方向上，所述纳米孔结构基于衍射原理改变某个波长空间光束的传输方向：由垂直方向转变为片上水平传输；在片上水平方向，光束在纳米孔结构内由中心向外侧传输至纳米孔结构的边缘，边缘的纳米孔结构与环形波导接触，将光耦合到环形波导内；

所述纳米孔的内径为50-200 nm；

所述纳米孔结构的半径为不小于1.8μm；所述环形波导的半径为不小于2μm，所述环形波导的宽度为350-500 nm；所述直波导的宽度为350-500 nm；所述直波导与环形波导在环形波导的外侧耦合，耦合间距的范围为50-200 nm；

所述片上微环光束接收器件的尺寸不超过5×5μm²。

2.根据权利要求1所述的片上微环光束接收器，其特征在于：所述纳米孔结构在环形波导内侧的分布结构为根据性能要求采用自动优化算法设计得到。

3.根据权利要求1~2任意一项所述的片上微环光束接收器，其特征在于：所述片上微环光束接收器的材料为绝缘体上硅、III-V族材料或聚合物。