[发明专利]多重电压控制方法及多重电压控制方式的高频电源装置

权利要求书

1.一种多重电压控制方法，包括如下步骤：

(a)开始对等离子负载供应高频电源；

(b)执行持续高频电源的输出而提高该输出的电源冲击动作；

(c)检测从所述等离子负载向高频电源侧反射的反射波，判断与所述反射波的量相对应的对应反射波损失量是否大于第一设定值；

(d)在满足所述步骤(c)的情况下，将供应于所述高频电源的RF功率放大器的直流电压的VDD大小限制在第一极限；

(e)在所述步骤(d)之后，判断所述对应反射波损失量是否小于第二设定值，所述第二设定值小于所述第一设定值；及

(f)若满足所述步骤(e)，则再次执行所述步骤(b)的电源冲击动作。

2.根据权利要求1所述的多重电压控制方法，其特征在于，

所述步骤(f)之后，还包括如下的步骤：

(g)将所述VDD的大小限制在第二极限，所述第二极限大于所述第一极限。

3.根据权利要求2所述的多重电压控制方法，其特征在于，

从所述高频电源向所述等离子负载供应的电力通过所述第二极限小于提前定义的设定电力。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的多重电压控制方法，其特征在于，

所述对应反射波损失量为通过从所述高频电源朝向所述等离子负载的行波对比从所述等离子负载向所述高频电源反射的反射波的比计算。

5.根据权利要求1至3中的任意一项所述的多重电压控制方法，其特征在于，

所述第一设定值为比所述第二设定值大2倍以上的值。

6.根据权利要求5所述的多重电压控制方法，其特征在于，

所述第一设定值具有0.2以上的值，所述第二设定值具有小于0.2的值。

7.一种多重电压控制方式的高频电源装置，对等离子负载供应高频电源的高频电源装置，包括：

高频电力发生装置，生成所述高频电源；

检测模块，设置在所述高频电力发生装置的输出端，并且检测朝向所述等离子负载的行波成分和从所述等离子负载反射的反射波成分；

比较模块，从所述检测模块的检测值比较所述行波成分和所述反射波成分，提取与所述反射波成分的量相对应的对应反射波损失量；

计算模块，将所述对应反射波损失量分别与提前设定的第一设定值及小于所述第一设定值的第二设定值对比来进行计算；

多重控制模块，根据所述计算模块的输出在电源冲击模式和第一VDD限制模式之间进行转换控制，所述电源冲击模式为持续提高所述高频电力发生装置的输出，所述第一VDD限制模式将供应于所述高频电力发生装置的直流电压的VDD的大小限制在提前设定的第一极限；

DC模块，根据所述多重控制模块的控制，控制输入于RF功率放大器的直流电压的VDD的大小。

8.根据权利要求7所述的用于消除不稳定匹配现象的多重电压控制方式的高频电源装置，其特征在于，

所述多重控制模块为，使所述高频电力发生装置在开始供应电力的时间点以所述电源冲击模式执行动作，在所述对应反射波损失量大于所述第一设定值的情况下，以所述第一VDD限制模式执行动作，在以所述第一VDD限制模式执行动作中对应反射波损失量降低至小于所述第二设定值的情况下，返回所述电源冲击模式执行动作。

9.根据权利要求8所述的多重电压控制方式的高频电源装置，其特征在于，

所述多重控制模块为在所述电源冲击模式之后以将所述VDD的大小限制在第二极限的第二VDD限制模式执行动作，所述第二极限大于所述第一极限。

10.根据权利要求9所述的多重电压控制方式的高频电源装置，其特征在于，

从所述高频电力发生装置向所述等离子负载供应的电力通过所述第二极限小于提前定义的设定电力。