[发明专利]在线品检装置及其调整方法在审
申请号: | 202011158474.0 | 申请日: | 2020-10-26 |
公开(公告)号: | CN112326676A | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 陶利权;于高洋;王洪建;刘盈楹;王丽江;张玮琪;王刚 | 申请(专利权)人: | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) |
主分类号: | G01N21/89 | 分类号: | G01N21/89;G01N21/892;G01V8/10 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 张延薇 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 在线 装置 及其 调整 方法 | ||
1.一种在线品检装置,其特征在于,包括侧架组件(1)、光源组件(6)、支撑组件(7)和用于与光学检测组件(9)可拆装连接的上框架组件(8);
所述侧架组件(1)的数量为两个,两个所述侧架组件(1)的中部通过中支梁(4)可拆装连接;
两个所述侧架组件(1)的上部通过所述支撑组件(7)可拆装连接所述上框架组件(8);
所述光源组件(6)的两端分别与两个所述侧架组件(1)可拆装连接。
2.根据权利要求1所述的在线品检装置,其特征在于,所述光源组件(6)能够相对于所述侧架组件(1)转动。
3.根据权利要求2所述的在线品检装置,其特征在于,所述光源组件(6)包括光源(15)、联杆轴(16)、筒轴(17)和联杆座(18);
所述光源(15)的两端分别与所述联杆轴(16)可拆装连接;
所述筒轴(17)外套在所述联杆轴(16)上,且所述联杆轴(16)能够相对于所述筒轴(17)转动;
所述筒轴(17)与所述联杆座(18)可转动螺纹连接;
所述联杆座(18)与所述侧架组件(1)可拆装连接。
4.根据权利要求3所述的在线品检装置,其特征在于,所述光源(15)具有朝向所述上框架组件(8)的光束面(1501);
所述光源组件(6)设置在所述中支梁(4)的上方。
5.根据权利要求1所述的在线品检装置,其特征在于,所述支撑组件(7)包括支撑移动座(19)、支座(21)和支撑调节件(22);
所述支撑移动座(19)与所述上框架组件(8)可拆装连接;
所述支座(21)与所述侧架组件(1)可拆装连接;
所述支座(21)通过所述支撑调节件(22)与所述支撑移动座(19)连接,以改变所述支座(21)与所述支撑移动座(19)之间的距离。
6.根据权利要求5所述的在线品检装置,其特征在于,所述支撑移动座(19)连接有支套(20);所述支套(20)与所述上框架组件(8)设置在所述支撑移动座(19)的相对应的两面;
所述支撑调节件(22)为螺杆;所述支撑调节件(22)与所述支座(21)可转动螺纹连接,且所述支撑调节件(22)的一端穿过所述支座(21)与所述支套(20)可转动连接。
7.根据权利要求5所述的在线品检装置,其特征在于,所述支撑移动座(19)包括与所述上框架组件(8)连接的支撑移动结合面(1901),与所述侧架组件(1)连接的支撑侧架结合面(1902)和用于穿线的护线管引出口(1903);所述护线管引出口(1903)设置在所述支撑移动结合面(1901)上。
8.根据权利要求1所述的在线品检装置,其特征在于,两个所述侧架组件(1)的底部通过下支梁(2)可拆装连接;
所述下支梁(2)通过第一连接件(3)与所述侧架组件(1)可拆装连接;所述中支梁(4)通过第二连接件(5)与所述侧架组件(1)可拆装连接;
所述侧架组件(1)包括底梁(10)、竖梁(14)和两个斜梁(12);
所述竖梁(14)与所述底梁(10)垂直,且所述竖梁(14)与所述底梁(10)的中部通过第三连接件(11)可拆装连接;
两个所述斜梁(12)对称设置,且所述斜梁(12)的两端分别与所述底梁(10)的端部和所述竖梁(14)的中部铰接。
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