[发明专利]具串联式冷却室的多流道气体喷射器

权利要求书

1.一种具串联式冷却室的多流道气体喷射器，其特征在于，包括：

喷射壳体，所述喷射壳体内部环设有多层冷却室，每一所述冷却室的侧壁顶部设有至少一溢流开口，以连通相邻的冷却室；以及

多条排气管，设置在每一所述冷却室内，且所述排气管的开口外露于所述喷射壳体外。

2.如权利要求1所述的具串联式冷却室的多流道气体喷射器，其特征在于，所述喷射壳体为阶梯状喷射壳体，令每一所述冷却室的所述侧壁的长度由外往内逐渐增长。

3.如权利要求1所述的具串联式冷却室的多流道气体喷射器，其特征在于，每一所述冷却室的底部还设有气体引流盘，垂直于所述排气管的开口，以引流所述排气管排出的气体，且所述气体引流盘内具有溢流空间，所述溢流空间连通所述冷却室。

4.如权利要求3所述的具串联式冷却室的多流道气体喷射器，其特征在于，每一所述冷却室中还设有至少一隔板，以分隔所述冷却室。

5.如权利要求1所述的具串联式冷却室的多流道气体喷射器，其特征在于，多条排气管包括共享排气管，设置于所述喷射壳体的中央，且所述共享排气管穿出所述喷射壳体底部。

6.如权利要求5所述的具串联式冷却室的多流道气体喷射器，其特征在于，所述共享排气管内还设有内套管。

7.如权利要求1所述的具串联式冷却室的多流道气体喷射器，其特征在于，还包括转接头，转接头包括：

输入接头，输入接头设有多条输气管、至少一第一输液管及至少一第一排液管；及

分流接头，分流接头设有多条气流通道、至少一第二输液管及至少一第二排液管，所述气流通道分别连通多条输气管，及分别连通多条排气管，以输入不同气体至多条排气管；所述第二输液管分别连通所述第一输液管及最内层的所述冷却室，以输入冷却液；所述第二排液管分别连通所述第一排液管及最外层的所述冷却室，以排出所述冷却液。

8.如权利要求7所述的具串联式冷却室的多流道气体喷射器，其特征在于，所述气流通道上还设有多个排气开口，所述排气开口分别连通所述排气管。

9.如权利要求1所述的具串联式冷却室的多流道气体喷射器，其特征在于，所述排气管的内径小于或等于四毫米，所述排气管的管壁可为0.5毫米至2.5毫米。

10.如权利要求3所述的具串联式冷却室的多流道气体喷射器，其特征在于，每一所述气体引流盘之间还设有滤网。