[发明专利]涡轮分子泵有效
| 申请号： | 202011161207.9 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN113107875B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 二木敬一 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/32 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【权利要求书】：
1.一种涡轮分子泵，其特征在于，包括：
多段的转子翼，呈放射状地形成有多个叶片，设置在转子轴方向上；以及
多段的定子翼，在转子轴方向上相对于多段的所述转子翼交替地配置，呈放射状地设置有多个叶片，
其中，所述多段的转子翼及所述多段的定子翼的至少一段的叶片片数被设定成“质数×2”，
在所述多段的转子翼中，包含叶片片数相同的转子翼在转子轴方向上连续两段以上邻接的结构，
在转子轴方向上邻接的一对所述叶片片数相同的转子翼的圆周方向上的翼配置相位，为相互错开，
所述涡轮分子泵的排气速度为5000L/s以上。
2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，
当将叶片的圆周方向上的角度间距设为P时，将所述圆周方向上的翼配置相位的错开量设定成P/2间距。
3.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，
在所述多段的定子翼中，包含叶片片数相同的定子翼在转子轴方向上连续两段以上邻接的结构，
在转子轴方向上邻接的一对所述叶片片数相同的定子翼的圆周方向上的翼配置相位，为相互错开。
4.根据权利要求3所述的涡轮分子泵，其特征在于，
当将叶片的圆周方向上的角度间距设为P时，将所述圆周方向上的翼配置相位的错开量设定成P/2间距。
5.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，
所述涡轮分子泵的排气速度为7000L/s以上。
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