[发明专利]用于阳极靶盘的钎焊装置及方法

权利要求书

1.一种钎焊装置（100,200），用于对X射线发生器的阳极靶盘进行钎焊处理，其特征在于，包括：

真空部，至少为由合金组成的靶盘主体（111，211）、钎焊料以及与所述靶盘主体（111,211）的表面相钎焊的基体在钎焊处理中提供的真空环境；

感应钎焊部，对所述真空部中的所述靶盘主体（111，211）、所述钎焊料和所述基体施加感应电流以至少加热所述钎焊料至熔点以上的温度，通过所述钎焊料的熔化并产生的反应使所述基体与所述靶盘主体（111,211）焊接；

传感器（109，209），设置为测量所述靶盘主体（111,211）在所述钎焊处理中的温度信息；

定向能焊接部，将产生的定向的能量束作用于所述靶盘主体上确定的温度较低的位置进行加热；以及

控制器（103，203），设置为接收所述传感器（109,209）反馈的所述温度信息，确定所述靶盘主体（111,211）上温度较低的位置，并控制所述定向能焊接部将产生的定向的能量束作用于所述位置。

2.根据权利要求1所述的钎焊装置（100,200），其中，所述感应钎焊部包括感应加热器（105,205），通过所述感应加热器（105,205）对所述真空部中的所述靶盘主体（111,211）、所述钎焊料和所述基体产生中频感应电流以进行加热。

3.根据权利要求1所述的钎焊装置（100,200），其中，所述定向能焊接部包括电子束焊接器（107,207）或激光焊接器。

4.根据权利要求1所述的钎焊装置（100,200），其特征在于，还包括：

堆叠部（113,213），被设置于所述真空部内，使多个所述靶盘主体（111,211）通过所述堆叠部（113,213）进行堆叠，并对位于所述堆叠部（113,213）的最上层的靶盘主体（111,211）与钎焊料以及基体进行钎焊处理。

5.根据权利要求1所述的钎焊装置（100,200），其中，所述真空部包括：

第一真空室，为所述钎焊处理提供真空环境；以及

第二真空室，为完成所述钎焊处理的所述靶盘主体（111,211）提供真空的冷却环境，其中，所述第一真空室与所述第二真空室之间设置能够开闭的阀门（219），在所述阀门（219）被打开时，所述第一真空室与所述第二真空室连通，使位于所述第一真空室的所述靶盘主体（111,211）被移送至所述第二真空室进行冷却。

6.根据权利要求5所述的钎焊装置（100,200），其中，所述第一真空室包括一密封的石英钟罩（2011），以通过所述石英钟罩（2011）观察在所述钎焊处理中，所述钎焊料于所述靶盘主体（111,211）上呈现的状态。

7.根据权利要求5所述的钎焊装置，其特征在于，还包括：第一冷却装置，被设置为对所述第一真空室外部进行冷却，以防止所述第一真空室的外侧表面的温度过热；以及

第二冷却装置，被设置为对所述第二真空室进行冷却，以加速完成所述钎焊处理的所述靶盘主体（111,211）的冷却速度。

8.一种钎焊方法，其特征在于，包括：

将由合金组成的靶盘主体、钎焊料以及与所述靶盘主体的表面相钎焊的基体置于真空环境；

将所述钎焊料以及基体摆放于所述靶盘主体的预设位置，并对所述靶盘主体、钎焊料以及基体施加感应电流以加热至所述钎焊料的熔点以上的温度，通过所述钎焊料的熔化并产生的反应使所述基体与所述靶盘主体焊接；

将一定向的能量束作用于所述靶盘主体上确定的温度较低的位置进行加热；

通过观测所述靶盘主体的温度信息以确定所述温度较低的位置，并调整所述定向的能量束的方向以作用于所述靶盘主体上的所述位置。

9.根据权利要求8所述的钎焊方法，其中，所述靶盘主体包括钼合金，所述基体包括石墨。

10.根据权利要求8所述的钎焊方法，其中，所述钎焊料为合金钎焊料。